Процес наношења јонског премаза шупље катоде је следећи:
1、Ставите Цхин инготе у колапс.
2、Монтирање радног комада.
3、Након евакуације до 5×10-3Па, гас аргон се уводи у комору за облагање из сребрне цеви, а ниво вакуума је око 100Па.
4、Укључите напајање пристрасности.
5、Након укључивања струје лука да се запали пражњење шупље катоде. Сјајно пражњење се генерише у цеви дугмета, напон пражњења је 800 ~ 1000 В, струја подизања лука је 30 ~ 50 А. Због ефекта сјаја шупље катоде пражњење, висока густина струје пражњења у сјају, висока густина јона пацова у сребрној цеви бомбардује зид цеви за гледање, чини да се зид цеви брзо загреје до емисије тока електрона, режим пражњења из светлећег пражњења изненадна промена у лучно пражњење, напон је 40 ~ 70 В, струја је 80 ~ 300 А. Температура сребрне цеви достиже изнад 2300 К, усијана, емитује ток електрона лука велике густине из цеви и пуца на аноду.
6、Подешавање нивоа вакуума. Ниво вакуума за сјајно пражњење из пиштоља са шупљом катодом је око 100 Па, а степен вакуума премаза је 8×10-1 ~ 2Па. Стога, након паљења лучног пражњења, смањите долазни аргон гас што је пре могуће, Подесите ниво вакуума на опсег погодан за премазивање.
7、Титанијумски пресвучени основни слој. Ток електрона на анодно колабирани ингот браде метала, претварање кинетичке енергије у топлотну енергију, испаравање метала браде загревањем, атоми паре доспевају до радног предмета и формирају титанијумски филм.
8、Таложење ТиН. Гас азота се доводи у комору за облагање, Гас азота и испарени атоми се јонизују у јоне азота и титанијума. Изнад лончића, већа вероватноћа нееластичних судара атома паре титанијума са густим струјама електрона нискоенергетских Стопа дисоцијације метала је чак 20% ~ 40%., Јони титанијума имају већу вероватноћу да хемијски реагују са реакционим гасом азота, Таложење да би се добио слој нитридног омотача. Пиштољ са шупљом катодом је и извор испаравања, други извор јонизације. Током наношења премаза, такође треба подесити струју електромагнетне завојнице око лончића, фокусирати електронски сноп на центар колапса, на тај начин се повећава густина снаге протока електрона.
9、Искључите напајање. Након што дебљина филма достигне унапред одређену дебљину филма, искључите напајање лука、Биас напајање и довод ваздуха.
Време поста: Јул-08-2023