Током облагања испаравањем, нуклеација и раст слоја филма су основа различите технологије јонског премаза
1. Нуцлеатион
InТехнологија пресвлачења вакуумским испаравањем, након што се честице слоја филма испаре из извора испаравања у облику атома, оне лете директно до радног предмета у високом вакууму и формирају слој филма нуклеацијом и растом на површини радног предмета.Током вакуумског испаравања, енергија атома филмског слоја који излазе из извора испаравања је око 0,2еВ.Када је кохезија између честица слоја филма већа од силе везивања између атома слоја филма и радног комада, формира се острвско језгро.Један атом слоја филма остаје на површини радног комада током времена вршећи неправилно кретање, дифузију, миграцију или судар са другим атомима да би формирао атомске кластере. Број атома у атомском кластеру достиже одређену критичну вредност, стабилну формира се језгро, названо језгро хомогеног облика.
глатка, и садржи много дефеката и корака, што узрокује разлику у сили адсорпције различитих делова радног предмета на радиоактивне атоме.Енергија адсорпције површине дефекта је већа од оне нормалне површине, па она постаје активни центар, што погодује преференцијалној нуклеацији, која се назива хетерогена нуклеација.Када је сила кохезије једнака сили везивања, или је сила везивања између атома мембране и радног комада већа од силе кохезије између атома мембране, формира се ламеларна структура.У технологији јонске плоче, у већини случајева се формира језгро острва.
2.Гровтх
Једном када је језгро филма формирано, оно наставља да расте хватањем упадних атома. Острва расту и комбинују се једно са другим да формирају веће хемисфере, постепено формирајући хемисферни слој острва који се шири преко површине радног комада.
Када је атомска енергија слоја филма висока, он може довољно да дифундује на површини и може се формирати глатки континуирани филм када су следећи атомски кластери мали. Ако је дифузија атома на површини слаба и величина депоновани кластери су велики, постоје као велика полуострвна језгра. Врх острвског језгра има јак ефекат сенчења на конкавном делу, то је „ефекат сенке“. Пројекција површине је погоднија за хватање накнадних депонованих атома и преференцијални раст, што резултира повећањем степена удубљења на површини да би се формирали конусни или стубасти кристали довољне величине.Између конусних кристала се формирају пенетрирајуће шупљине и повећава се вредност храпавости површине. Фино ткиво се може добити при високом вакууму, са смањењем степена вакуума, микроструктура мембране постаје све дебља и дебља.
Време поста: 24.05.2023