Који су процеси машина за вакуумско облагање?Који је принцип рада?

Тхевакуумско превлачењемашински процес је подељен на: облагање вакуумским испаравањем, вакуумско распршивање и вакуумско јонско облагање.

1 、Превлака за вакуумско испаравање

У условима вакуума, учините да материјал испари, као што је метал, метална легура, итд., а затим их одложите на површину супстрата, метода премаза испаравањем често користи грејање отпора, а затим бомбардовање материјала за облагање електронским снопом, направите их испарава у гасну фазу, а затим се таложи на површини супстрата, историјски гледано, вакуумско таложење паре је ранија технологија коришћена у ПВД методи.

2、Превлака за прскање

Гас се подвргава блиставом пражњењу под (Ар) испуњеним вакуумским условима. У овом тренутку атоми аргона (Ар) се претварају у јоне азота (Ар), јони се убрзавају силом електричног поља и бомбардују катодну мету која је направљен од материјала за облагање, мета ће бити распршена и депонована на површини подлоге. Упадни јони у премазу распршивањем, који се обично добијају сјајним пражњењем, налазе се у опсегу од 10-2па до 10Па, тако да се распршене честице лако сударају са молекулима гаса у вакуумској комори када лете према подлози, чинећи смер кретања случајним, а депоновани филм лаким да буде уједначен.

3、јонски премаз

У условима вакуума, у условима вакуума, користио је одређену технику јонизације плазме да делимично јонизује атоме материјала за облагање у јоне. Истовремено се производи много неутралних атома високе енергије, који су негативно нагнути на подлогу. На овај начин, јони наносе се на површину подлоге под дубоким негативним нагибом да би се формирао танак филм.