Који је принцип рада машине за јонско превлачење

Јонски премазмашина настао из теорије коју је предложио ДМ Матток 1960-их, а одговарајући експерименти су почели у то време;До 1971. године, Цхамберс и други су објавили технологију облагања електронским снопом јона;Технологија реактивног испаравања (АРЕ) је истакнута у Бунсхаховом извештају 1972. године, када су произведени типови супер-тврдих филмова као што су ТиЦ и ТиН;Такође 1972. године, Смитх и Моллеи су усвојили технологију шупље катоде у процесу облагања.До 1980-их, јонска обрада у Кини је коначно достигла ниво индустријске примене, а процеси премаза као што су вакуумско вишелучно јонско полагање и јонско облагање са лучним пражњењем појавили су се сукцесивно.

Цео радни процес вакуумског јонског облагања је следећи: прво,пумпавакуум комору, а затимчекатипритисак вакуума на 4Кс10 ⁻ ³ Паили боље, потребно је прикључити високонапонско напајање и изградити нискотемпературну плазма област нисконапонског пражњеног гаса између подлоге и испаривача.Повежите електроду супстрата са негативним високим напоном од 5000В ДЦ да бисте формирали усијано пражњење катоде.Јони инертног гаса се стварају близу подручја негативног сјаја.Они улазе у тамно подручје катоде и убрзавају их електрично поље и бомбардују површину подлоге.Ово је процес чишћења, а затим уђите у процес премазивања.Кроз ефекат загревања бомбардовања, неки материјали за облагање се испаравају.Подручје плазме улази у протоне, судара се са електронима и јонима инертног гаса, а мали део њих је јонизован. Ови јонизовани јони са високом енергијом ће бомбардовати површину филма и донекле побољшати квалитет филма.

Принцип вакуумског јонског облагања је: у вакуум комори, користећи феномен гасног пражњења или јонизовани део испареног материјала, под бомбардовањем јона испареног материјала или јона гаса, истовремено таложи ове испарене супстанце или њихове реактанте на подлогу. да се добије танак филм.Јонски премазмашинакомбинује вакуумско испаравање, технологију плазме и гасно усијано пражњење, што не само да побољшава квалитет филма, већ и проширује опсег примене филма.Предности овог процеса су јака дифракција, добра адхезија филма и различити материјали за облагање.Принцип јонске превлаке је први предложио ДМ Матток.Постоји много врста јонске облоге.Најчешћи тип је грејање испаравањем, укључујући грејање отпора, грејање електронским снопом, грејање плазма електронским снопом, високофреквентно индукционо грејање и друге методе грејања.