РЦВ600

Ова серија опреме користи магнетронске мете за претварање материјала за облагање у честице величине нанометара, које се таложе на површини супстрата да би се формирале танке филмове.Ваљани филм се поставља у вакуумску комору.Кроз структуру намотаја на електрични погон, један крај прима филм, а други ставља филм.Он наставља да пролази кроз циљно подручје и прима циљне честице да формира густи филм.
карактеристика:

1. Формирање филма при ниској температури.Температура има мали утицај на филм и неће изазвати деформацију.Погодан је за фолије од ПЕТ, ПИ и других основних материјала.
2. Може се дизајнирати дебљина филма.Танки или дебели премази се могу дизајнирати и депоновати подешавањем процеса.
3. Дизајн вишеструке циљне локације, флексибилан процес.Цела машина може бити опремљена са осам мета, које се могу користити као једноставне металне мете или сложене и оксидне мете.Може се користити за припрему једнослојних филмова са једноструком структуром или вишеслојних филмова са композитном структуром.Процес је веома флексибилан.

Опрема може припремити електромагнетну заштитну фолију, флексибилну облогу на плочи, разне диелектричне филмове, вишеслојну АР антирефлексну фолију, ХР високо антирефлексну фолију, филм у боји, итд. Опрема има веома широк спектар примена и једнослојно таложење филма може се завршити једнократним депоновањем филма.
Опрема може да усвоји једноставне металне мете као што су Ал, Цр, Цу, Фе, Ни, СУС, ТиАл, итд., или сложене мете као што су СиО2, Си3Н4, Ал2О3, СнО2, ЗнО, Та2О5, ИТО, АЗО, итд.

Опрема је мале величине, компактног дизајна, мале површине, ниске потрошње енергије и флексибилног подешавања.Веома је погодан за истраживање и развој процеса или масовну производњу у малим серијама.