Технологија депозиције потпомогнута јонским снопом

У ствари, технологија таложења уз помоћ јонског снопа је композитна технологија.То је композитна техника површинског третмана јонима која комбинује имплантацију јона и технологију физичког таложења филма из паре, и нову врсту технике оптимизације површине јонским снопом.Поред предности физичког таложења паром, ова техника може континуирано да расте филм било које дебљине под строжијим условима контроле, значајно побољша кристалност и оријентацију слоја филма, повећа снагу адхезије слоја филма/подлоге, побољша густину слоја филма, и синтетизују сложене филмове са идеалним стехиометријским односима на скоро собној температури, укључујући нове типове филмова који се не могу добити на собној температури и притиску.Таложење потпомогнуто јонским снопом не само да задржава предности процеса јонске имплантације, већ такође може покрити супстрат са потпуно другачијим филмом од супстрата.
У свим врстама физичког таложења паре и хемијског таложења паре, може се додати сет помоћних јонских топова за бомбардовање да би се формирао ИБАД систем, а постоје два општа ИБАД процеса како следи, као што је приказано на слици:

Као што је приказано на слици (а), извор испаравања електронског зрака се користи за озрачивање слоја филма јонским снопом који се емитује из јонског пиштоља, чиме се остварује таложење уз помоћ јонског снопа.Предност је у томе што се енергија и смер снопа јона могу подесити, али само једна или ограничена легура или једињење се може користити као извор испаравања, а сваки притисак паре компоненте легуре и једињења је различит, што отежава да би се добио филмски слој оригиналног састава извора испаравања.
Слика (б) приказује таложење потпомогнуто распршивањем јонским снопом, које је такође познато као таложење распршивањем двоструким јонским снопом, при чему се као извор користи мета направљена од материјала за облагање распршивањем јонског снопа, производи распршивања.Док се наноси на подлогу, таложење потпомогнуто распршивањем јонским снопом постиже се зрачењем са другим извором јона.Предност ове методе је у томе што саме распршене честице имају одређену енергију, па постоји боља адхезија са подлогом;било која компонента мете може бити распршена премаз, али такође може бити реакционо распршивање у филм, лако се подешава састав филма, али је његова ефикасност таложења ниска, мета је скупа и постоје проблеми као што је селективно распршивање.