Опрема за чишћење вакуумом плазмом усваја интегрисану структуру, опремљену системом за чишћење РФ јона, потпуно аутоматском контролом, практичним радом и одржавањем.
РФ високофреквентни генератор може генерисати плазму високе густине, активирати, нагризати и пепелити површину радног предмета, ефикасно уклонити прашину и масноћу на површини производа, ослободити површински стрес и добити различите модификације на површини радног предмета.
Примењује се на гуме, стакло, керамику, метал и друге производе, а примењује се на микроелектронику, ЛЦД, ЛЕД, ЛЦМ, штампану плочу, полупроводничку амбалажу, медицинске уређаје, експерименте науке о животу и друга поља.