Mohala oa ho roala o amohela sebopeho sa modular, se ka eketsang kamore ho latela litlhoko tsa ts'ebetso le ts'ebetso, 'me e ka koaheloa ka mahlakoreng ka bobeli, e bonolo ebile e bonolo.E na le sisteme ea ho hloekisa ion, sistimi e futhumatsang e potlakileng le sistimi ea magnetron sputtering ea DC, e ka beha ka mokhoa o nepahetseng ho roala tšepe e bonolo.Thepa e na le ho otla ka potlako, clamping e bonolo le ts'ebetso e phahameng.
Mohala oa ho roala o na le ho hloekisa ion le tsamaiso ea ho baka e phahameng ea mocheso, kahoo ho khomarela filimi e behiloeng ho molemo.The angle angle sputtering e nang le sepheo se potolohang e loketse bakeng sa ho behoa ha filimi karolong e ka hare ea sebaka se senyenyane sa aperture.
1. Thepa e na le sebopeho sa compact le sebaka se senyenyane sa fatše.
2. Sesebelisoa sa vacuum se na le pompo ea limolek'hule bakeng sa ho ntša moea, ka tšebeliso e tlaase ea matla.
3. Ho khutla ka mokhoa o itekanetseng oa rack ea lintho tse bonahalang ho boloka basebetsi.
4. Mekhahlelo ea ts'ebetso e ka lateloa, 'me mokhoa oa tlhahiso o ka hlahlojoa ts'ebetsong eohle ho thusa ho lateloa ha liphoso tsa tlhahiso.
5. Mohala oa ho roala o na le tekanyo e phahameng ea ho iketsetsa.E ka sebelisoa le manipulator ho hokahanya mekhoa ea pele le e ka morao le ho fokotsa litšenyehelo tsa mosebetsi.
E ka nka sebaka sa khatiso ea silevera ea pente ts'ebetsong ea tlhahiso ea capacitor, ka katleho e phahameng le litšenyehelo tse tlase.
E sebetsa ho Ti, Cu, Al, Cr, Ni, Ag, Sn le litšepe tse ling tse bonolo.E 'nile ea sebelisoa haholo likarolong tsa elektronike tsa semiconductor, tse kang li-substrates tsa ceramic, li-capacitor tsa ceramic, litšehetso tsa li-led ceramic, joalo-joalo.