tsebisa:
Lefapheng la theknoloji e tšesaane ea deposition filimi, elektrone beam evaporation ke mokhoa oa bohlokoa o sebelisoang liindastering tse fapaneng ho hlahisa lifilimi tse tšesaane tsa boleng bo holimo.Thepa ea eona e ikhethang le ho nepahala ho sa bapisoang ho etsa hore e be khetho e khahlehang ho bafuputsi le bahlahisi.Leha ho le joalo, joalo ka mokhoa ofe kapa ofe, e-beam evaporation e na le mefokolo ea eona e kholo.
Melemo ea evaporation ea electron beam:
1. Sekhahla se phahameng sa deposition: E-beam evaporation e na le sekhahla se setle sa deposition ha se bapisoa le mekhoa e meng e joalo ka mouoane oa mocheso kapa mouoane oa sputter.Sena se etsa hore ho etsoa ha lifilimi tse tšesaane ho atlehe haholoanyane, ho boloka nako le lisebelisoa.
2. Ntlafatsa boleng ba filimi: E-beam evaporation e ka hlahisa lifilimi tse nang le bokhabane bo botle le bohloeki.Matla a phahameng a sefate sa elektronike a thusa ho hloekisa ka ho feletseng holim'a substrate, ho fella ka boleng bo botle ba filimi le ho ntlafatsa ts'ebetso ea sehlahisoa sa ho qetela.
3. Taolo e nepahetseng ea botenya ba filimi: Mouoane oa elektrone o ka lemoha taolo e nepahetseng ea botenya ba filimi e kentsoeng.Boemo bona ba ho nepahala bo bohlokoa bakeng sa lits'ebetso tse hlokang botenya bo nepahetseng, joalo ka liphahlo tsa optical.
Melemo ea elektrone beam evaporation:
1. Ho lumellana ha lintho tse fokolang: E-beam evaporation ha e tšoanelehe bakeng sa lisebelisoa tsohle.Lisebelisoa tse ling, haholo-holo tse nang le lintlha tse tlaase tsa ho qhibiliha kapa likhatello tse phahameng tsa mouoane, li ka 'na tsa se ke tsa khona ho mamella mocheso o matla o hlahisoang ke lebone la elektronike.Sena se fokotsa mefuta e mengata ea lisebelisoa tse ka behoang ho sebelisoa mokhoa ona.
2. Litšenyehelo tse phahameng tsa thepa: Ha li bapisoa le mekhoa e meng ea ho bea, thepa e hlokahalang bakeng sa mouoane oa elektronike e batla e le theko e boima.Peeletso ena ea pele e ka baka tšitiso ea lichelete bakeng sa lits'ebetso tse nyane kapa lits'ebeletso tsa lipatlisiso tse nang le likhakanyo tse fokolang tsa lichelete.
3. Ho seta le ho hlokomela ho rarahane: Ho theha le ho boloka tsamaiso ea e-beam evaporation e ka ba phephetso.E hloka botsebi le botsebi, hammoho le tlhokomelo ea kamehla ho netefatsa ts'ebetso e tsitsitseng.Mathata a amehang a etsa hore ho be thata hore mekhoa e mecha ea ho hlahisa lifilimi e utloisisehe.
Nako ea poso: Jul-04-2023