Plasma ea matla e phahameng e ka phatloha le ho khantša lisebelisoa tsa polymer, ea roba liketane tsa tsona tsa limolek'hule, ea etsa lihlopha tse sebetsang, ea eketsa matla a holim'a metsi, le ho hlahisa etching.Phekolo ea holim'a plasma ha e ame sebopeho sa kahare le ts'ebetso ea lisebelisoa tse ngata, empa e fetola haholo thepa ea bokaholimo.
E le hore e se ke ea senya litšobotsi tsa thepa ka boeona, phekolo ea phetoho ea plasma hangata ha e sebelise plasma e nang le matla a phahameng a matla.Phapang lipakeng tsa kalafo ena le liphekolo tse ling tsa plasma ke:
1) Se ke oa kenya li-ion kapa liathomo sebakeng se phekotsoeng (joalo ka ho kenya ion).
2) U se ke ua tlosa lisebelisoa tse kholoanyane (tse kang sputtering kapa etching).
3) Se ke oa eketsa likarolo tse 'maloa (athomo) holim'a metsi (joalo ka deposition).
Ka bokhuts'oane, kalafo ea bokaholimo ba plasma e kenyelletsa feela likarolo tse 'maloa tsa athomo.
Mekhoa ea ts'ebetso bakeng sa phetoho ea holim'a plasma haholo-holo e kenyelletsa khatello ea khase, maqhubu a motlakase oa motlakase, matla a ho ntša matla, nako ea ts'ebetso, joalo-joalo Mekhahlelo ea ts'ebetso e bonolo ho e fetola.Nakong ea ts'ebetso ea phetoho ea plasma, likaroloana tse ngata tse sebetsang li na le tšekamelo ea ho itšoara ka holim'a metsi a phekoloang ao li kopanang le 'ona,' me li ka sebelisoa ho phekola bokaholimo ba thepa.Ha ho bapisoa le mekhoa e tloaelehileng, phetoho ea bokaholimo ba plasma e na le melemo ea ts'ebetso e bonolo, ts'ebetso e bonolo, litšenyehelo tse tlase, ntle le tšilafalo, ntle le litšila, tlhahiso e bolokehileng le ts'ebetso e phahameng.
Nako ea poso: Jun-07-2023