Ho roala ka ionmochini e simolohile khopolong e hlahisitsoeng ke DM Mattox lilemong tsa bo-1960, 'me liteko tse tsamaisanang le tsona li ile tsa qala ka nako eo;Ho fihlela ka 1971, Chambers le ba bang ba ile ba hatisa thekenoloji ea electron beam ion plating;Theknoloji ea reactive evaporation plating (ARE) e ile ea bontšoa tlalehong ea Bunshah ka 1972, ha mefuta ea lifilimi tse thata haholo tse kang TiC le TiN li hlahisoa;Hape ka 1972, Smith le Molley ba ile ba amohela theknoloji e se nang letho ea cathode ts'ebetsong ea ho roala.Ka bo-1980, plating ea ion naheng ea China e ne e qetelletse e fihlile boemong ba ts'ebeliso ea indasteri, 'me lits'ebetso tsa ho koahela joalo ka vacuum multi-arc ion plating le arc-discharge ion plating li hlahile ka ho latellana.
Ts'ebetso eohle ea ts'ebetso ea vacuum ion plating e tjena: pele,pompaphaposi ya vacuum, mme ebeemakhatello ea vacuum ho 4X10 ⁻ ³ Pakapa ho feta, hoa hlokahala ho hokahanya phepelo ea matla a matla a phahameng le ho haha sebaka se tlaase sa mocheso oa plasma ea khase ea ho ntša mocheso o tlaase pakeng tsa substrate le evaporator.Hokela eleketrode ea substrate le 5000V DC negative high voltage ho theha khanya ea cathode.Li-ion tsa khase tse sa sebetseng li hlahisoa haufi le sebaka sa khanya e mpe.Ba kena sebakeng se lefifi sa cathode 'me ba potlakisoa ke tšimo ea motlakase ebe ba bomola holim'a substrate.Ena ke mokhoa oa ho hloekisa, ebe o kenya mokhoa oa ho roala.Ka phello ea ho futhumatsa ha bombardment, lisebelisoa tse ling tsa plating li fetoha mouoane.Sebaka sa plasma se kena ka protons, se thulana le li-elektronike le li-ion tsa khase tse sa sebetseng, 'me karolo e nyenyane ea tsona e na le ionized, Li-ion tsena tse nang le ionized tse nang le matla a phahameng li tla qhoma holim'a filimi le ho ntlafatsa boleng ba filimi ho isa bohōleng bo itseng.
Molao-motheo oa plating ea vacuum ion ke: ka phaposing ea vacuum, ho sebelisa ts'ebetso ea ho tsoa ha khase kapa karolo ea ionized ea thepa e nang le mouoane, tlas'a bombardment ea li-ion tse nang le mouoane kapa li-ion tsa khase, ka nako e ts'oanang beha lintho tsena tse nang le mouoane kapa li-reactants tsa tsona ho substrate. ho fumana filimi e nyane.Ho roala ha ionmochinie kopanya vacuum evaporation, thekenoloji ea plasma le khase ea khase, e sa ntlafatse boleng ba filimi feela, empa e boetse e atolosa mefuta e mengata ea tšebeliso ea filimi.Melemo ea ts'ebetso ena ke diffraction e matla, ho khomarela filimi e ntle, le lisebelisoa tse fapaneng tsa ho roala.Molao-motheo oa plating ea ion o ile oa hlahisoa pele ke DM Mattox.Ho na le mefuta e mengata ea li-ion plating.Mofuta o tloaelehileng haholo ke ho futhumatsa mouoane, ho kenyelletsa ho futhumatsa ho hanyetsa, mocheso oa electron beam, mocheso oa plasma electron beam, mocheso o phahameng oa maqhubu le mekhoa e meng ea ho futhumatsa.
Nako ea poso: Feb-14-2023