Sesebelisoa sa ho roala sa Magnetron ke ho sebelisa mokhoa oa magnetron sputtering ho fetola thepa ea ho roala hore e be boemo ba gaseous kapa ionic tikolohong ea vacuum, ebe o e beha sebakeng sa mosebetsi ho etsa filimi e teteaneng.E le ho ntlafatsa boemo ba holimo kapa ho fumana ts'ebetso e khethehileng ea filimi e sebetsang kapa e khabisitsoeng.
Thepa e nka magnetron sputtering system le sistimi e nepahetseng ea taolo ea maqhubu, 'me e na le sistimi ea taolo ea koloi ea servo ho hlokomela tsitsipano e sa feleng le taolo ea lebelo le sa feleng.
1. E na le mokhoa o itekanetseng oa ho pata filimi, filimi ha e sosobane, 'me boleng ba matsoele bo phahame.
2. Sistimi ea taolo e koetsoeng e eketsoa ho ntlafatsa sekhahla sa deposition.Filimi ea multilayer dielectric e ka koaheloa ka mokhoa o tsoelang pele holim'a coil ea PET ka bophara ba 1100mm, ka mokhoa o motle oa ho pheta-pheta le mokhoa o tsitsitseng.
3. Sistimi ea matsoelintsoeke le sepheo se ka ntšoa ho tsoa lipheletsong tse peli ka ho latellana ho nolofatsa ho jarolloa le ho theoloa ha membrane roll le ho nkela sepheo sa tlhokomelo sebaka.
Thepa e na le tekanyo e phahameng ea boiketsetso, e lekola ka bo eona boemo ba ts'ebetso ea lisebelisoa, 'me e na le mesebetsi ea alamo ea phoso le ts'ireletso e ikemetseng.Ts'ebetso ea lisebelisoa e tlase ka bothata.
Thepa e ka kenya Nb2O5, TiO2, SiO2 le li-oxide tse ling, Cu, Al, Cr, Ti le litšepe tse ling tse bonolo, tse sebelisoang haholo ho beha lifilimi tsa mebala e mengata ea optical le lifilimi tse bonolo tsa tšepe.Thepa e loketse filimi ea PET, lesela la conductive le lisebelisoa tse ling tsa lifilimi tse feto-fetohang, 'me li sebelisoa haholo filiming ea khabiso ea mohala oa thekeng, filimi ea ho paka, filimi ea EMI electromagnetic shielding, filimi e hlakileng ea ITO le lihlahisoa tse ling.
Mehlala ea boikhethelo | Boholo ba lisebelisoa ( bophara) |
RCX1100 | 1100 (mm) |