Letoto lena la lisebelisoa le sebelisa sepheo sa magnetron ho fetolela lisebelisoa tsa ho roala hore e be likaroloana tsa boholo ba nanometer, tse behiloeng holim'a li-substrates ho etsa lifilimi tse tšesaane.Filimi e kolobisitsoeng e kenngoa ka kamoreng ea vacuum.Ka sebopeho sa mapheo se tsamaisoang ke motlakase, ntlha e 'ngoe e amohela filimi 'me e 'ngoe e beha filimi.E tsoela pele ho feta sebakeng seo ho shebiloeng ho sona 'me e amohela likaroloana tse lebisitsoeng ho etsa filimi e teteaneng.
Sebopeho:
1. Ho theha filimi ea mocheso o tlase.Mocheso o na le phello e fokolang filiming mme o ke ke oa hlahisa deformation.E loketse PET, PI le lifilimi tse ling tsa motheo tsa coil.
2. Botenya ba filimi bo ka etsoa.Liaparo tse tšesaane kapa tse teteaneng li ka etsoa le ho kenngoa ka mokhoa oa ho lokisa.
3. Moqapi oa libaka tse ngata tsa sepheo, mokhoa o tenyetsehang.Mochini oohle o ka hlomelloa ka lipehelo tse robeli, tse ka sebelisoang e le litebello tse bonolo tsa tšepe kapa lipheo tsa kompone le oxide.E ka sebelisoa ho lokisetsa lifilimi tsa lera le le leng tse nang le sebopeho se le seng kapa lifilimi tse ngata tse nang le likarolo tse ngata.Mokhoa ona o fetoha haholo.
Thepa e ka lokisa filimi ea tšireletso ea motlakase, ho roala boto ea potoloho e feto-fetohang, lifilimi tse fapa-fapaneng tsa dielectric, li-multi-layer AR antireflection film, filimi ea HR e phahameng ea antireflection, filimi ea mebala, joalo-joalo thepa e na le mefuta e mengata haholo ea likopo, le tlhahiso ea filimi e le 'ngoe. e ka phethoa ka ho beha filimi ea nako e le 'ngoe.
Thepa e ka amohela litebello tse bonolo tsa tšepe tse kang Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl, joalo-joalo, kapa liphofu tse kopaneng tse kang SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO, joalo-joalo.
Thepa e nyane ka boholo, e kopane ka sebopeho sa sebopeho, e nyane fatše, tšebeliso e tlase ea matla, 'me e fetoha habonolo ha e fetoha.E loketse haholo bakeng sa lipatlisiso tsa ts'ebetso le nts'etsopele kapa tlhahiso e nyane ea bongata.