Kenyelletso ea theknoloji ea ho roala mouoane oa vacuum

2, Mouoane futhumatsang

(1) Ho hanyetsa mocheso ho tsoa mouoane
Resistance heat evaporation ke mokhoa o bonolo le o sebelisoang haholo oa ho futhumatsa, oo hangata o sebetsang ho lisebelisoa tsa ho roala tse nang le ntlha e qhibilihang ka tlase ho 1500 ℃, litšepe tse phahameng tse qhibilihang ka har'a terata kapa sebopeho sa lakane (W, Mo, Ti, Ta, boron nitride, jj.) hangata e entsoe ka sebopeho se loketseng sa mohloli oa mouoane, o laetsoeng ka lisebelisoa tsa mouoane, ka mocheso oa Joule oa hajoale oa motlakase ho qhibiliha, ho fetoha mouoane kapa ho theola lintho tse entsoeng ka mouoane, sebopeho sa mohloli oa mouoane haholo-holo se kenyelletsa mefuta e mengata ea strand spiral, U-shaped, sine wave. , poleiti e tšesaane, seketsoana, baskete ea cone, joalo-joalo Ka nako e ts'oanang, mokhoa ona o hloka hore mohloli oa mohloli oa mouoane o be le ntlha e phahameng ea ho qhibiliha, khatello e tlaase ea mouoane, thepa ea lik'hemik'hale e tsitsitseng, e se ke ea e-ba le lik'hemik'hale tse nang le lisebelisoa tsa ho roala mocheso o phahameng, e ntle mocheso ho hanyetsa, phetoho e nyenyane matla a segokanyipalo, joalo-joalo E amohela e phahameng hona joale ka mohloli e le mouoane ho etsa hore ho futhumatsa le mouoane lintho tse bonahalang filimi ka futhumatsang ka ho toba, kapa beha lintho tse bonahalang filimi ka crucible entsoe ka graphite le itseng phahameng mocheso manganga. metal oxides (joaloka A202, B0) le lisebelisoa tse ling tsa ho futhumatsa ka tsela e sa tobang hore li fetohe mouoane.
Ho hanyetsa mocheso oa ho futhumatsa mouoane ho na le mefokolo: litšepe tse refractory li na le khatello e tlaase ea mouoane, eo ho leng thata ho etsa filimi e tšesaane;likarolo tse ling li bonolo ho etsa motsoako o nang le terata e futhumatsang;ha ho bonolo ho fumana sebopeho se ts'oanang sa filimi ea alloy.Ka lebaka la sebopeho se bonolo, theko e tlase le ts'ebetso e bonolo ea ho hanyetsa mocheso oa mouoane mokhoa, ke ts'ebeliso e tloaelehileng haholo ea mokhoa oa mouoane.

(2) Mouoane oa mocheso oa mollo oa elektrone
Elektrone beam evaporation ke mokhoa oa ho etsa mouoane thepa ea ho roala ka ho e phunya ka sekhahla sa elektrone se nang le matla a phahameng ka ho se beha ka har'a crucible ea koporo e pholileng ka metsi.Mohloli oa evaporation o na le mohloli oa elektrone emission, mohloli oa matla a ho potlakisa elektronike, crucible (hangata e le koporo ea koporo) , coil ea magnetic field, le sete sa metsi a pholileng, joalo-joalo Sesebelisoa sena, thepa e futhumetseng e kenngoa ka metsing. -cooled crucible, 'me sefate sa elektronike se phunyeletsa karolo e nyenyane haholo ea thepa, ha boholo ba lintho tse setseng li ntse li le mocheso o tlaase haholo tlas'a phello e pholileng ea crucible, e ka nkoang e le karolo e phunyeletsoeng ea crucible.Kahoo, mokhoa oa ho futhumatsa sefate sa elektronike bakeng sa mouoane o ka qoba tšilafalo pakeng tsa thepa ea ho roala le mohloli oa mohloli oa mouoane.
Sebopeho sa mohloli oa elektrone beam evaporation e ka aroloa ka mefuta e meraro: lithunya tse otlolohileng (lithunya tsa Boules), lithunya tsa lesale (tse khelohileng ka motlakase) le li-e-guns (tse khelohileng ka matla).Sekoahelo se le seng kapa ho feta se ka beoa sebakeng sa mouoane, se ka fetohang mouoane le ho beha lintho tse ngata tse fapaneng ka nako e le 'ngoe kapa ka thoko.

Mehloli ea elektrone beam evaporation e na le melemo e latelang.
① Bongata bo phahameng ba mahlaseli a mohloli oa mouoane oa electron beam bombardment bo ka fumana matla a matla ho feta mohloli oa mocheso o hanyetsang, o ka ntšang lisebelisoa tse phahameng tsa ho qhibiliha, joalo ka W, Mo, Al2O3, joalo-joalo.
② Thepa ea ho roala e kenngoa ka har'a crucible ea koporo e pholileng ka metsi, e ka qobang ho tsoa mouoane oa mohloli oa mouoane, le karabelo pakeng tsa bona.
③Mocheso o ka eketsoa ka kotloloho holim'a thepa ea ho roala, e etsang hore ts'ebetso ea mocheso e be holimo le ho lahleheloa ke mocheso oa mocheso le mahlaseli a mocheso tlaase.
The go tlhoka mesola ea elektrone lebanta futhumatsang mouoane mokhoa ke hore lielektrone ka sehloohong ho tloha sethunya elektrone le lielektrone bobeli ho tloha holim'a thepa barbotage tla ionize liathomo evaporating le mesaletsa ea limolek'hule khase, e leng tla ama boleng ba filimi ka linako tse ling.

(3) Mouoane o phahameng oa mocheso oa ho futhumatsa
Mofuthu oa mocheso o phahameng oa maqhubu ke ho beha crucible ka thepa ea ho roala bohareng ba coil e nang le maqhubu a phahameng, e le hore thepa ea ho roala e hlahise phello e matla ea eddy ea hona joale le ea hysteresis tlas'a ho kenngoa ha tšimo ea high-frequency electromagnetic field, e bakang filimi lera ho futhumatsa ho fihlela e vaporizes le evaporates.Mohloli oa mouoane hangata o na le khoele ea maqhubu a phahameng a pholileng ka metsi le graphite kapa ceramic (magnesium oxide, aluminium oxide, boron oxide, joalo-joalo)Matla a matla a maqhubu a phahameng a sebelisa maqhubu a likete tse leshome ho isa ho tse makholo a 'maloa a Hz, matla a ho kenya ke li-kilowatts tse' maloa ho isa ho tse makholo a 'maloa, ho fokotseha ha molumo oa lisebelisoa tsa membrane, ho phahamisa maqhubu a induction.Hangata li-coil tsa induction li entsoe ka tube ea koporo e pholileng ka metsi.
Bobebe ba mokhoa oa ho futhumala ha mocheso o phahameng oa maqhubu ke hore ha ho bonolo ho lokisa matla a ho kenya, o na le melemo e latelang.
①Sekhahla se phahameng sa mouoane
② Thempereichara ea mohloli oa mouoane e ts'oana ebile e tsitsitse, ka hona ha ho bonolo ho hlahisa ts'ebetso ea marotholi a ho roala, hape e ka qoba ts'ebetso ea li-pinholes filiming e kentsoeng.
③Mohloli oa mouoane o laeloa hang, 'me mocheso o batla o le bonolo ebile o bonolo ho o laola.