Lintho tsa plasma
Sebopeho sa plasma sebakeng sa mouoane oa lik'hemik'hale tse ntlafalitsoeng ke plasma ke hore e itšetleha ka matla a kinetic a lielektrone tse ka har'a plasma ho kenya tšebetsong liphetoho tsa lik'hemik'hale mokhahlelong oa khase.Kaha plasma ke pokello ea li-ion, lielektrone, liathomo tse sa nke lehlakore le limolek'hule, ha e nke lehlakore ka motlakase maemong a macroscopic.Ho plasma, matla a mangata a bolokoa ka har'a matla a ka hare a plasma.Plasma qalong e arotsoe ka plasma e chesang le e batang.tsamaisong ea PECVD ke plasma e batang e entsoeng ke ho tsoa ha khase e tlaase.Plasma ena e hlahisoang ke khatello e tlaase ea khatello e ka tlaase ho makholo a seng makae a Pa ke plasma ea khase e sa leka-lekaneng.
Sebopeho sa plasma ena ke se latelang:
(1) Ho sisinyeha ho sa tloaelehang ha mocheso oa lielektrone le li-ion ho feta motsamao oa bona o laetsoeng.
(2) Ts'ebetso ea eona ea ionization e bakoa haholo-holo ke ho thulana ha lielektrone tse potlakileng le limolek'hule tsa khase.
(3) Ka karolelano mocheso oa matla a lielektrone ke 1 ho ea ho litaelo tsa 2 tsa boholo bo phahameng ho feta tsa likaroloana tse boima, tse kang limolek'hule, liathomo, li-ion le li-radicals tsa mahala.
(4) Ho lahleheloa ke matla ka mor'a ho thulana ha lielektrone le likaroloana tse boima ho ka lefshoa ho tloha tšimong ea motlakase pakeng tsa ho thulana.
Ho thata ho tšoaea plasma ea mocheso o tlase o sa tsitsang o nang le palo e nyane ea li-parameter, hobane ke plasma ea mocheso o tlase o sa tsitsang tsamaisong ea PECVD, moo mocheso oa elektronike Te o sa tšoaneng le mocheso oa Tj oa likaroloana tse boima.Ho theknoloji ea PECVD, mosebetsi o ka sehloohong oa plasma ke ho hlahisa li-ion tse sebetsang ka lik'hemik'hale le li-radicals tsa mahala.Li-ion tsena le li-radicals tsa mahala li sebetsana le li-ion tse ling, liathomo le limolek'hule karolong ea khase kapa li baka tšenyo ea lattice le lik'hemik'hale tsa lik'hemik'hale holim'a substrate, 'me lihlahisoa tsa lintho tse sebetsang ke ts'ebetso ea matla a elektronike, mahloriso a reactant le coefficient ea lihlahisoa.Ka mantsoe a mang, lihlahisoa tsa lihlahisoa tse sebetsang li itšetlehile ka matla a matla a motlakase, khatello ea khase, le mefuta e tloaelehileng ea mahala ea likaroloana nakong ea ho thulana.Ha khase e sebetsang ka har'a plasma e ikarola ka lebaka la ho thulana ha lielektrone tse nang le matla a phahameng, mokoallo oa ts'ebetso oa lik'hemik'hale o ka hlōloa 'me mocheso oa khase e sebetsang o ka fokotseha.Phapang e kholo lipakeng tsa PECVD le CVD e tloaelehileng ke hore melao-motheo ea thermodynamic ea karabelo ea lik'hemik'hale e fapane.Ho arohana ha limolek'hule tsa khase ka plasma ha ho khethoe, kahoo lera la filimi le behiloeng ke PECVD le fapane ka ho feletseng le CVD e tloaelehileng.Sebopeho sa mohato se hlahisoang ke PECVD se ka 'na sa e-ba se ikhethang se sa tsitsang,' me sebopeho sa sona ha se sa lekanyetsoa ke kinetics ea equilibrium.Lera le tloaelehileng la filimi ke boemo ba amorphous.
Likarolo tsa PECVD
(1) Mocheso o tlase oa deposition.
(2) Fokotsa khatello ea maikutlo e ka hare e bakoang ke ho se tšoane ha sekhahla sa ho atolosa linear ea membrane / lisebelisoa tsa motheo.
(3) Sekhahla sa deposition se batla se phahame, haholo-holo mocheso o tlase oa mocheso, o loketseng ho fumana lifilimi tsa amorphous le microcrystalline.
Ka lebaka la ts'ebetso e tlase ea mocheso oa PECVD, ts'enyo ea mocheso e ka fokotsoa, ho arola ka bobeli le karabelo pakeng tsa lera la filimi le thepa ea substrate e ka fokotsoa, joalo-joalo, e le hore likarolo tsa elektronike li ka koaheloa ka bobeli pele li etsoa kapa ka lebaka la tlhokahalo. bakeng sa rework.Bakeng sa ho etsoa ha li-circuits tse kopantsoeng ka ho fetisisa tse kholo (VLSI, ULSI), theknoloji ea PECVD e sebelisoa ka katleho ho theheng filimi ea silicon nitride (SiN) e le filimi ea ho qetela ea tšireletso ka mor'a ho thehoa ha Al electrode wiring, hammoho le flattening le sebopeho sa silicon oxide filimi e le interlayer insulation.E le lisebelisoa tse tšesaane tsa filimi, theknoloji ea PECVD e boetse e sebelisoa ka katleho ho etsoa ha li-transistors tse tšesaane (TFTs) bakeng sa lipontšo tsa LCD, joalo-joalo, ho sebelisa khalase e le substrate ka mokhoa o sebetsang oa matrix.Ka nts'etsopele ea lipotoloho tse kopantsoeng ho isa tekanyong e kholoanyane le ho kopanya ho phahameng le tšebeliso e pharaletseng ea lisebelisoa tsa metsoako ea semiconductor, PECVD e hlokeha ho etsoa ka mocheso o tlase le mekhoa e phahameng ea matla a elektronike.Ho fihlela tlhokahalo ena, ho tla ntlafatsoa mahlale a ka kopanyang lifilimi tse bataletseng tse tlase mochesong o tlase.Lifilimi tsa SiN le SiOx li ithutile haholo ho sebelisoa plasma ea ECR le thekenoloji e ncha ea plasma chemical vapor deposition (PCVD) e nang le plasma ea helical, 'me e fihlile boemong bo sebetsang ba tšebeliso ea lifilimi tsa interlayer insulation bakeng sa li-circuits tse kholo tse kopantsoeng, joalo-joalo.
Nako ea poso: Nov-08-2022