Parabot ngadopsi téknologi évaporasi sinar éléktron.Éléktron dipancarkeun tina filamén katoda sareng museur kana arus sinar anu tangtu, anu digancangan ku poténsi antara katoda sareng crucible pikeun ngalembereh sareng nguap bahan palapis.Cai mibanda ciri dénsitas énergi anu luhur sareng tiasa nguap bahan palapis kalayan titik lebur langkung ti 3000 ℃.pilem ngabogaan purity tinggi jeung efisiensi termal tinggi.
Alat-alatna dilengkepan sumber évaporasi sinar éléktron, sumber ion, sistem ngawaskeun ketebalan pilem, struktur koreksi ketebalan pilem sareng sistem rotasi workpiece payung anu stabil.Ngaliwatan palapis dibantuan sumber ion, compactness film ngaronjat, indéks réfraktif ieu stabilized, sarta fenomena shift panjang gelombang alatan Uap dihindari.The full-otomatis ketebalan pilem real-time Sistim ngawaskeun bisa mastikeun repeatability jeung stabilitas prosés.Hal ieu dilengkepan fungsi timer lebur pikeun ngurangan gumantungna kana kaahlian operator urang.
Alat-alatna tiasa dianggo pikeun sagala rupa oksida sareng bahan palapis logam, sareng tiasa dilapis ku pilem optik precision multi-lapisan, sapertos pilem AR, gelombang panjang pass, pass gelombang pondok, film brightening, pilem AS / AF, IRCUT, sistem pilem warna. , Sistim pilem gradién, jsb Ieu geus loba dipaké dina kacamata AR, lénsa optik, kaméra, lénsa optik, saringan, industri semikonduktor, jsb.