GX600

alat-alat nu adopts struktur panto hareup nangtung sarta perenah klaster.Ieu bisa dilengkepan sumber évaporasi pikeun logam jeung sagala rupa bahan organik, sarta bisa menguap wafers silikon rupa spésifikasi.Dilengkepan sistem alignment precision, palapis nu stabil sarta palapis ngabogaan repeatability alus.
Alat-alat palapis GX600 tiasa sacara akurat, merata sareng sacara kontrol nguapkeun bahan pemancar cahaya organik atanapi bahan logam kana substrat.Cai mibanda kaunggulan formasi pilem basajan, purity tinggi na compactness tinggi.The full-otomatis ketebalan pilem real-time Sistim ngawaskeun bisa mastikeun repeatability jeung stabilitas prosés.Hal ieu dilengkepan fungsi timer lebur pikeun ngurangan gumantungna kana kaahlian operator urang.
alat-alat nu bisa dilarapkeun ka Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti jeung bahan logam lianna, sarta bisa coated kalawan pilem logam, pilem lapisan diéléktrik, pilem IMD, jsb eta utamana dipaké dina semikonduktor. industri, kayaning alat kakuatan, semikonduktor pungkur palapis substrat bungkusan, jsb.