HFCVD0606

The chamber palapis vakum alat déposisi uap kimiawi adopts hiji ganda-lapisan struktur cai-cooling bebas, nu efisien sarta seragam dina cooling, sarta mibanda struktur aman tur stabil.alat-alat nu dirancang kalayan panto ganda, sababaraha jandéla observasi sarta sababaraha interfaces ékspansi, nu merenah pikeun sambungan éksternal périferal bantu kayaning pangukuran suhu infra red, analisis spéktral, ngawaskeun video na thermocouple.Konsep desain canggih ngajadikeun overhaul poean tur pamaliharaan, robah konfigurasi sarta pamutahiran alat-alat nu panggampangna tur basajan, tur éféktif ngurangan pamakéan sarta pamutahiran waragad.

Fitur parabot:

1.Komponén inflasi pakakas utamana ngawengku méteran aliran massa, klep solenoid jeung tank campur gas, nu mastikeun kontrol akurat prosés aliran gas, campur seragam jeung isolasi aman tina gas béda, sarta bisa milih komponén sistem gas pikeun pamakéan sumber gas cair, mempermudah pilihan pribadi tina rupa-rupa sumber karbon cair, sarta pamakéan aman inten conductive sintétik jeung éléktroda sumber boron cair.
2.The assembly ékstraksi hawa ieu dilengkepan pompa vakum vane Rotary jempé tur efisien sarta sistem pompa molekul turbo nu bisa gancang minuhan lingkungan tukang vakum tinggi.The komposit gauge vakum kalawan gauge lalawanan jeung gauge ionisasi dipaké pikeun pangukuran vakum, kitu ogé sistem gauge pilem kapasitif nu bisa ngukur tekanan gas prosés béda dina rentang lega.Tekanan déposisi pinuh otomatis dikawasa ku klep kontrol proporsional precision tinggi.
3.Komponén cai cooling ieu dilengkepan tekanan cai multi-kanal, aliran, pangukuran suhu sarta software monitoring otomatis.komponén cooling béda téh bebas tina silih, nu merenah pikeun diagnosis sesar gancang.Sadaya cabang gaduh saklar klep mandiri, anu aman sareng efisien.
4.Komponén kontrol listrik ngadopsi layar LCD panganteur lalaki-mesin badag-ukuran jeung cooperate kalawan PLC kontrol pinuh-otomatis pikeun mempermudah ngedit tur impor rumus prosés.Kurva grafis sacara visual ningalikeun perobahan sareng nilai tina rupa-rupa parameter, sareng parameter alat sareng prosés sacara otomatis dirékam sareng diarsipkeun pikeun ngagampangkeun ngalacak masalah sareng analisis statistik data.
rak workpiece 5.The ieu dilengkepan motor servo ngadalikeun ngangkat sarta nurunkeun tabel substrat.Tabel substrat grafit atanapi tambaga beureum tiasa dipilih.Suhu diukur ku thermocouple.
6.Komponén rak bisa dirancang sakabéhna atawa misah nurutkeun sarat customer pikeun minuhan sarat penanganan husus konsumén.
7.The komponén plat sealing anu geulis tur elegan.The pelat sealing di wewengkon modul fungsi béda pakakas bisa gancang disassembled atawa dibuka jeung ditutup sacara mandiri, nu pohara merenah ngagunakeun.

Parabot CVD filamén panas téh cocog pikeun depositing bahan inten, kaasup palapis pilem ipis, timer ngarojong pilem kandel, microcrystalline na inten nanocrystalline, inten conductive, jsb Ieu utamana dipaké pikeun palapis pelindung maké-tahan tina cemented carbide parabot motong, bahan semikonduktor. kayaning silikon jeung silikon carbide, palapis dissipation panas alat, boron doped éléktroda inten conductive, disinfection ozon cai electrolytic atawa perlakuan kokotor.