alat-alat nu integrates magnetron sputtering sarta téhnologi évaporasi lalawanan, sarta nyadiakeun solusi pikeun palapis rupa-rupa substrat béda.
Parabot palapis ékspérimén utamana dipaké di paguron luhur jeung lembaga panalungtikan ilmiah, sarta bisa minuhan rupa-rupa sarat eksperimen.Rupa-rupa target struktural ditangtayungan pikeun alat-alat, nu bisa flexibly ngonpigurasi pikeun minuhan panalungtikan ilmiah sarta pamekaran dina widang béda.Sistem sputtering Magnetron, sistem busur katoda, sistem évaporasi sinar éléktron, sistem évaporasi lalawanan, CVD, PECVD, sumber ion, sistem bias, sistem pemanasan, fixture tilu diménsi, jsb bisa dipilih.Konsumén bisa milih nurutkeun pangabutuh maranéhanana béda.
alat-alat nu boga ciri penampilan geulis, struktur kompak, aréa lanté leutik, gelar luhur ti automation, operasi basajan tur fléksibel, kinerja stabil sarta pangropéa gampang.
Alat-alatna tiasa diterapkeun kana plastik, stainless steel, hardware electroplated / bagian plastik, kaca, keramik sareng bahan anu sanés.Lapisan logam basajan sapertos titanium, kromium, pérak, tambaga, aluminium atanapi pilem sanyawa logam sapertos TiN / TiCN / TiC / TiO2 / TiAlN / CrN / ZrN / CrC tiasa disiapkeun.
ZCL0506 | ZCL0608 | ZCL0810 |
φ500 * H600 (mm) | φ600 * H800 (mm) | φ800 * H1000 (mm) |