1) Target silinder gaduh tingkat utilisasi anu langkung luhur tibatan target planar.Dina prosés palapis, naha éta téh tipe Rotary magnét atawa tipe tube Rotary cylindrical sputtering target, sadaya bagian tina beungeut tube target terus ngaliwatan wewengkon sputtering dihasilkeun di hareup magnet permanén pikeun nampa sputtering katoda, sarta target bisa seragam sputtered etched, sarta laju utilization target tinggi.Laju utilization bahan target nyaeta ngeunaan 80% ~ 90%.
2) Target silinder moal gampang pikeun ngahasilkeun "target karacunan".Salila prosés palapis, beungeut tube target sok sputtered na etched ku ion, sarta teu gampang pikeun ngumpulkeun oksida kandel jeung film insulating séjén dina beungeut cai, sarta teu gampang pikeun ngahasilkeun "target karacunan".
3) Struktur udagan usaha Rotary tube tipe cylindrical sputtering udagan téh basajan tur gampang pikeun masang.
4) Bahan tabung target cylindrical ngagaduhan sababaraha jinis.target planar kalawan udagan logam cooling cai langsung, sarta sababaraha teu bisa diolah sarta ngawangun target cylindrical, kayaning target In2-SnO2, jsb kalawan bahan bubuk pikeun panas isostatic mencét pikeun ménta target piring-kawas, sabab ukuranana teu bisa dijieun. badag, sarta regas, jadi perlu ngagunakeun métode brazing na backplate tambaga pikeun ngahijikeun lajeng install dina dasar target.Salian pipa logam, target columnar ogé bisa disemprot dina beungeut pipa stainless steel kalayan sagala rupa bahan nu kudu coated, kayaning Si, Cr, jsb.
Ayeuna, proporsi target cylindrical pikeun palapis dina produksi industri ningkat.Target cylindrical henteu ngan ukur dianggo pikeun mesin palapis nangtung tapi ogé dianggo dina gulungan pikeun ngagulung mesin palapis.Dina taun-taun ayeuna, target kembar planar laun-laun diganti ku target kembar Cylindrical.
——Artikel ieu dikaluarkeun ku Guangdong Zhenhua Technology, aprodusén mesin palapis optik.
waktos pos: May-11-2023