Prosés palapis ion katoda kerung nyaéta kieu:
1, Pasang ingot gado dina runtuhna.
2. Pasang workpiece.
3, Saatos evacuating ka 5 × 10-3Pa, gas argon diwanohkeun kana chamber palapis ti tube pérak, sarta tingkat vakum sabudeureun 100Pa.
4. Hurungkeun kakuatan bias.
5, Saatos ngahurungkeun kakuatan arc mun ngahurungkeun katoda kerung discharge.The ngurangan glow dihasilkeun dina tube tombol, tegangan ngurangan nyaeta 800 ~ 1000V, The arc-raising ayeuna nyaeta 30 ~ 50A.Due efek katoda kerung tina glow. ngurangan, High glow ngurangan kapadetan arus, The kapadetan luhur ion beurit dina tube pérak bombards témbok tube vantage, Jieun témbok tube gancang haneut nepi ka émisi aliran éléktron, mode ngurangan tina ngurangan glow robah ngadadak ka arc ngurangan, Tegangan nyaeta 40 ~ 70V, Ayeuna nyaeta 80 ~ 300A.Silver hawa tube ngahontal luhureun 2300K, Pijer, Emits aliran dénsitas luhur éléktron busur ti tube, sarta ditémbak ka anoda.
6, adjustment of vakum level.The tingkat vakum pikeun ngurangan glow ti gun katoda kerung nyaeta ngeunaan 100 Pa, Jeung gelar vakum of palapis nyaeta 8 × 10-1 ~ 2Pa.Therefore, Saatos ignition tina ngurangan arc, Ngurangan argon asup. gas pas mungkin, Saluyukeun tingkat vakum ka rentang cocog pikeun palapis.
7, titanium plated base layer.Electron ngalir onto nu anodically rubuh ingot logam Chin, Konversi énergi kinétik pikeun énergi termal, Évaporasi logam Chin ku pemanasan, atom uap ngahontal workpiece pikeun ngabentuk pilem titanium.
8, Déposisi gas TiN.Nitrogen geus disadiakeun ka chamber palapis, gas Nitrogén jeung atom ngejat anu ionized kana nitrogén jeung titanium ions.Above crucible, kamungkinan luhur tabrakan inelastic tina atom uap titanium jeung aliran padet éléktron low-énergi, Laju disosiasi logam saluhur 20% ~ 40%., ion Titanium leuwih gampang meta kimiawi jeung nitrogén gas réaksi, Déposisi pikeun ménta lapisan pilem mantel nitride. The gun katoda kerung duanana sumber vaporization, sumber sejen. tina ionization.During palapis,Arus tina coil éléktromagnétik sabudeureun crucible ogé kudu disaluyukeun,Fokus sinar éléktron ka puseur runtuhna,Ku kituna, dénsitas kakuatan aliran éléktron ngaronjat.
9, Power Off.After ketebalan pilem ngahontal ketebalan pilem predetermined, Pareuman arc catu daya, suplai kakuatan bias jeung suplai hawa.
waktos pos: Jul-08-2023