Salila palapis évaporasi, nucleation sarta tumuwuhna lapisan pilem anu jadi dadasar rupa téhnologi palapis ion.
1. Nukléasi
Intéhnologi palapis évaporasi vakum,Sanggeus partikel lapisan pilem ngejat tina sumber évaporasi dina bentuk atom, aranjeunna ngapung langsung ka workpiece dina vakum tinggi sarta ngabentuk lapisan pilem ku nucleation sarta pertumbuhan dina beungeut workpiece nu.Salila évaporasi vakum, énergi atom lapisan pilem escaping ti sumber évaporasi ngeunaan 0.2eV.Nalika kohési antara partikel lapisan pilem leuwih badag batan gaya beungkeutan antara atom lapisan pilem na workpiece nu, ngabentuk inti pulo.Hiji atom lapisan pilem tunggal tetep dina beungeut workpiece salila lilana waktu ngalakukeun gerakan teu teratur, difusi, migrasi, atawa tabrakan jeung atom séjén pikeun ngabentuk gugus atom Jumlah atom dina gugusan atom ngahontal nilai kritis tangtu, stabil. inti kabentuk, disebutna intina ngawangun homogen.
mulus, sarta ngandung loba defects sarta léngkah, nu ngabalukarkeun bédana dina gaya adsorption bagian béda tina workpiece kana atom radioaktif.Énergi adsorption tina beungeut cacad nu leuwih gede dibandingkeun beungeut normal, ku kituna jadi puseur aktif, nu kondusif pikeun nucleation preferential, disebutna nucleation hétérogén.Lamun gaya cohesive sarua jeung gaya beungkeutan, atawa gaya beungkeutan antara atom mémbran jeung workpiece nu leuwih gede dibandingkeun gaya cohesive antara atom mémbran, struktur lamellar kabentuk.Dina téknologi palapis ion, inti pulo kabentuk dina kalolobaan kasus.
2. Tumuwuhna
Sakali inti film kabentuk, terus tumuwuh ku trapping atom kajadian. Kapuloan tumuwuh sarta ngagabungkeun saling pikeun ngabentuk hémisfér gedé, laun ngabentuk lapisan pulo hémisferik nu nyebar ngaliwatan beungeut workpiece nu.
Nalika énergi atom tina lapisan pilem téh luhur, éta bisa diffuse sahingga dina beungeut cai sarta pilem kontinyu lemes bisa ngawujud nalika klaster atom asup saterusna leutik. Lamun difusi atom dina beungeut cai lemah jeung ukuran klaster disimpen téh badag, aranjeunna aya salaku inti samenanjung badag. Luhureun inti pulo miboga éfék shading kuat dina bagian kerung, nyaeta "efek kalangkang" .The proyéksi beungeut téh leuwih kondusif pikeun motret saterusna atom disimpen. sarta tumuwuhna preferential, hasilna ngaronjatna darajat concavity dina beungeut cai pikeun ngabentuk kristal conical atawa columnar ukuran cukup.Penetrating voids kabentuk antara kristal kerucut jeung nilai roughness permukaan increases.Fine jaringan tiasa didapet dina vakum tinggi, jeung panurunan tina gelar vakum, anu microstructure mémbran janten kandel tur kandel.
waktos pos: Méi-24-2023