Palapis sumber évaporasi résistansi mangrupikeun metode palapis évaporasi vakum dasar."Évaporasi" nujul kana métode persiapan pilem ipis nu bahan palapis dina chamber vakum dipanaskeun sarta ngejat, ku kituna atom bahan atawa molekul ngejat tur kabur ti beungeut cai, ngabentuk fenomena aliran uap, kajadian dina beungeut cai. substrat atawa substrat, sarta tungtungna condensed pikeun ngabentuk film padet.
Metodeu palapis sumber évaporasi résistansi anu disebut nyaéta ngagunakeun tantalum, molybdenum, tungsten sareng logam titik lebur anu luhur pikeun ngadamel bentuk sumber évaporasi anu pas, anu dieusian ku bahan anu bakal ngejat, ngantepkeun hawa ngalir, langsung panas sareng ngejat bahan ngejat, atawa nunda bahan pikeun jadi ngejat kana alumina, beryllium oksida jeung crucibles séjén pikeun pemanasan teu langsung jeung évaporasi.Ieu mangrupikeun metode évaporasi pemanasan résistansi.
Themesin palapis évaporasi vakumdipanaskeun sarta ngejat ku manaskeun lalawanan boga kaunggulan struktur basajan, béaya rendah sarta pamakéan dipercaya.Ieu bisa dipaké pikeun palapis évaporasi bahan kalawan titik lebur low, utamana pikeun produksi masal jeung syarat low pikeun kualitas palapis.Sajauh ieu, masih aya sajumlah ageung prosés palapis pemanasan lalawanan sareng évaporasi anu dianggo dina produksi kaca spion aluminized.
Kalemahan metode palapis évaporasi sumber évaporasi nyaéta suhu maksimum anu tiasa dihontal ku pemanasan terbatas, sareng umur jasa pamanas ogé pondok.Dina taun anyar, dina raraga ngaronjatkeun kahirupan sumber évaporasi lalawanan, pabrik parabot geus diadopsi bahan keramik conductive disintésis ku boron nitride kalawan umur panjang salaku sumber évaporasi.Numutkeun kana laporan patén Jepang, éta tiasa nganggo bahan anu diwangun ku 20% ~ 30% boron nitride sareng bahan refractory anu tiasa dihijikeun sareng janten sumber évaporasi (crucible), sareng nutupan permukaanna ku lapisan zirconium anu ngandung 62% ~ 82%, sarta sésana mangrupa bahan alloy zirconium-silikon.
waktos pos: Apr-22-2023