Alat beberesih vakum plasma adopts struktur terpadu, dilengkepan sistem beberesih ion RF, kontrol pinuh otomatis, operasi merenah tur pamaliharaan.
Generator frekuensi tinggi RF tiasa ngahasilkeun plasma dénsitas tinggi, ngaktifkeun, etch sareng ngabubarkeun permukaan workpiece, sacara efektif ngaleungitkeun lebu sareng gajih dina permukaan produk, ngaleupaskeun setrés permukaan, sareng nampi sababaraha modifikasi dina permukaan workpiece.
Ieu lumaku pikeun karét, kaca, keramik, logam jeung produk lianna, sarta dilarapkeun ka microelectronics, LCD, LED, LCM, PCB circuit board, bungkusan semikonduktor, alat médis, percobaan elmu hirup jeung widang lianna.