HFCVD0606

Vakuumbeläggningskammaren i den kemiska ångavsättningsutrustningen antar en oberoende dubbelskiktig vattenkylningsstruktur, som är effektiv och enhetlig vid kylning och har en säker och stabil struktur.Utrustningen är designad med dubbla dörrar, flera observationsfönster och flera expansionsgränssnitt, vilket är bekvämt för extern anslutning av extra kringutrustning såsom infraröd temperaturmätning, spektralanalys, videoövervakning och termoelement.Det avancerade designkonceptet gör den dagliga översynen och underhållet, konfigurationsändringen och uppgraderingen av utrustningen enkel och enkel, och minskar effektivt användnings- och uppgraderingskostnaderna.

Utrustningsegenskaper:

1.Utrustningens uppblåsningskomponenter inkluderar huvudsakligen massflödesmätare, magnetventil och gasblandningstank, som säkerställer noggrann kontroll av processgasflöde, enhetlig blandning och säker isolering av olika gaser, och kan välja gassystemkomponenter för användning av vätskegaskälla, underlättar det personliga urvalet av ett brett utbud av flytande kolkällor och säker användning av syntetiska ledande diamant- och elektrodkällor för flytande bor.
2. Luftutsugningsenheten är utrustad med en tyst och effektiv roterande lamellvakuumpump och ett turbomolekylärt pumpsystem som snabbt kan möta bakgrundsmiljön med högt vakuum.Den sammansatta vakuummätaren med resistansmätare och joniseringsmätare används för vakuummätning, samt det kapacitiva filmmätarsystemet som kan mäta trycket på olika processgaser inom ett brett område.Deponeringstrycket är helautomatiskt styrt av högprecisions-proportionell reglerventil.
3. Kylvattenkomponenten är utrustad med flerkanaligt vattentryck, flöde, temperaturmätning och automatisk mjukvaruövervakning.Olika kylkomponenter är oberoende av varandra, vilket är bekvämt för snabb feldiagnos.Alla grenar har oberoende ventilomkopplare, vilket är säkert och effektivt.
4. De elektriska styrkomponenterna antar stor storlek människa-maskin-gränssnitt LCD-skärm och samarbetar med PLC helautomatisk kontroll för att underlätta redigering och import av processformel.Den grafiska kurvan visar visuellt förändringar och värden för olika parametrar, och utrustningen och processparametrarna registreras automatiskt och arkiveras för att underlätta problemspårning och statistisk dataanalys.
5. Arbetsstyckets ställ är utrustat med en servomotor för att styra lyftningen och sänkningen av underlagsbordet.Grafit- eller rödkopparsubstratbordet kan väljas.Temperaturen mäts med ett termoelement.
6. Rackkomponenterna kan utformas som en helhet eller separat enligt kundens krav för att möta kundernas speciella hanteringskrav.
7. Tätningsplattans komponenter är vackra och eleganta.Tätningsplattorna i olika funktionella modulområden av utrustningen kan snabbt demonteras eller öppnas och stängas oberoende, vilket är mycket bekvämt att använda.

Varmfilament CVD-utrustning är lämplig för avsättning av diamantmaterial, inklusive tunnfilmsbeläggning, självbärande tjockfilm, mikrokristallin och nanokristallin diamant, ledande diamant, etc. Den används främst för slitstark skyddsbeläggning av hårdmetallskärverktyg, halvledarmaterial såsom kisel och kiselkarbid, värmeavledningsbeläggning av enheter, bordopad ledande diamantelektrod, ozondesinfektion av elektrolytiskt vatten eller avloppsrening.