Utrustningen integrerar magnetronförstoftning och motståndsförångningsteknik och ger en lösning för beläggning av en mängd olika substrat.
Den experimentella beläggningsutrustningen används huvudsakligen vid universitet och vetenskapliga forskningsinstitutioner och kan uppfylla en mängd olika experimentella krav.Olika strukturella mål är reserverade för utrustningen, som kan konfigureras flexibelt för att möta den vetenskapliga forskningen och utvecklingen inom olika områden.Magnetronförstoftningssystem, katodbågssystem, elektronstråleförångningssystem, motståndsförångningssystem, CVD, PECVD, jonkälla, förspänningssystem, värmesystem, tredimensionell fixtur etc. kan väljas.Kunderna kan välja efter sina olika behov.
Utrustningen har egenskaperna vackert utseende, kompakt struktur, liten golvyta, hög grad av automatisering, enkel och flexibel drift, stabil prestanda och enkelt underhåll.
Utrustningen kan appliceras på plast, rostfritt stål, elektropläterade hårdvara/plastdelar, glas, keramik och andra material.Enkla metallskikt såsom titan, krom, silver, koppar, aluminium eller metallsammansatta filmer såsom TiN / TiCN / TiC / TiO2 / TiAlN / CrN / ZrN / CrC kan framställas.
ZCL0506 | ZCL0608 | ZCL0810 |
φ500*H600(mm) | φ600*H800(mm) | φ800*H1000(mm) |