1) Cylindriska mål har högre utnyttjandegrad än plana mål.I beläggningsprocessen, oavsett om det är en roterande magnetisk typ eller ett cylindriskt förstoftningsmål av roterande rörtyp, passerar alla delar av målrörets yta kontinuerligt genom förstoftningsområdet som genereras framför permanentmagneten för att ta emot katodförstoftning, och mål kan likformigt sputteretsas, och målutnyttjningsgraden är hög.Användningsgraden för målmaterial är cirka 80% ~ 90%.
2) Cylindriska mål kommer inte lätt att producera "målförgiftning".Under beläggningsprocessen sputteras och etsas ytan på målröret alltid av joner, och det är inte lätt att samla tjocka oxider och andra isolerande filmer på ytan, och det är inte lätt att producera "målförgiftning".
3) Strukturen hos det cylindriska sputtermålet av roterande målrörstyp är enkel och lätt att installera.
4) Det cylindriska målrörsmaterialet har olika typer.plana mål med metallmål direkt vattenkylning, och vissa kan inte bearbetas och formas cylindriska mål, såsom In2-SnO2 mål, etc. med pulvermaterial för varm isostatisk pressning för att erhålla plattliknande mål, eftersom storleken inte kan göras stor och spröd, så det är nödvändigt att använda hårdlödningsmetod och kopparplatta för att integrera och sedan installera på målbasen.Förutom metallrör kan kolumnära mål även sprayas på ytan av rostfria stålrör med olika material som behöver beläggas, såsom Si, Cr, etc.
För närvarande ökar andelen cylindriska mål för beläggning i industriell produktion.Cylindriska mål används inte bara för den vertikala beläggningsmaskinen utan även i rull-till-rullbeläggningsmaskinen.På senare år har de plana tvillingmålen gradvis ersatts av de cylindriska tvillingmålen.
——Denna artikel släpptes av Guangdong Zhenhua Technology, atillverkare av optiska beläggningsmaskiner.
Posttid: 11 maj 2023