1.Karakteristika för ljusbågselektronflöde
Tätheten av elektronflöde, jonflöde och högenergi neutrala atomer i ljusbågsplasma som genereras av ljusbågsurladdning är mycket högre än den för glödurladdning.Det finns fler gasjoner och metalljoner joniserade, exciterade högenergiatomer och olika aktiva grupper i beläggningsutrymmet, som spelar en viktig roll i beläggningsprocessens uppvärmnings-, rengörings- och beläggningsstadier.Handlingsformen för bågelektronflöde skiljer sig från den för jonstråle, som inte alla konvergerar till en "stråle", utan mestadels i ett divergerande tillstånd, så det kallas bågelektronflöde.Eftersom bågelektroner strömmar mot anoden, riktas bågelektronflödet dit den positiva elektroden på bågströmförsörjningen är ansluten, och anoden kan vara ett arbetsstycke, hjälpanod, degel, etc.
2. Metod för att generera bågelektronflöde
(1) Gaskällan genererar bågelektronflöde: bågströmmen för ihålig katodbågsurladdning och hettrådsbågarladdning kan nå cirka 200A, och bågspänningen är 50-70V.
(2) Fast källa genererar bågelektronflöde: katodbågskälla, inklusive liten bågkälla, cylindrisk bågkälla, rektangulärt plan stor bågkälla, etc. Bågströmmen för varje katodbågskällas urladdning är 80-200A, och bågspänningen är 18-25V.
Bågelektronflödet med hög densitet och lågenergi i två typer av ljusbågsurladdningsplasma kan generera intensiv kollisionsjonisering med gas- och metallfilmatomer, vilket ger fler gasjoner, metalljoner och olika högenergiaktiva atomer och grupper, och därigenom förbättras filmskiktjonernas totala aktivitet.
–Den här artikeln släpptes av Guangdong Zhenhua, atillverkare av vakuumbeläggningsmaskiner
Posttid: 31 maj 2023