Den hettrådsbågförbättrade plasmakemiska ångavsättningstekniken använder hettrådsbågpistolen för att avge bågplasma, förkortad som hot wire arc PECVD-tekniken.Denna teknik liknar beläggningstekniken för hettrådsbågepistoler, men skillnaden är att den fasta filmen som erhålls genom beläggning av hettrådsbågpistoljoner använder ljusbågselektronflödet som emitteras av hettrådsbågpistolen för att värma och förånga metallen i degeln, medan den heta trådbågsljuset PECVD matas med reaktionsgaser, såsom CH4 och H2, som används för avsättning av diamantfilmer.Genom att förlita sig på ljusbågarladdningsströmmen med hög densitet som avges av den heta trådbågspistolen, exciteras de reaktiva gasjonerna för att erhålla olika aktiva partiklar, inklusive gasjoner, atomjoner, aktiva grupper och så vidare.
I den heta trådbågsanordningen PECVD är två elektromagnetiska spolar fortfarande installerade utanför beläggningsrummet, vilket gör att elektronflödet med hög densitet roterar under rörelsen mot anoden, vilket ökar sannolikheten för kollision och jonisering mellan elektronflödet och reaktionsgasen. .Den elektromagnetiska spolen kan också konvergera till en bågkolonn för att öka plasmadensiteten i hela avsättningskammaren.I bågplasma är densiteten hos dessa aktiva partiklar hög, vilket gör det lättare att avsätta diamantfilmer och andra filmskikt på arbetsstycket.
——Denna artikel släpptes av Guangdong Zhenhua Technology, atillverkare av optiska beläggningsmaskiner.
Posttid: maj-05-2023