1. Termisk CVD-teknik
Hårda beläggningar är mestadels metallkeramiska beläggningar (TiN, etc.), som bildas genom reaktion av metall i beläggningen och reaktiv förgasning.Till en början användes den termiska CVD-tekniken för att tillhandahålla aktiveringsenergin för kombinationsreaktion med termisk energi vid en hög temperatur på 1000 ℃.Denna temperatur är endast lämplig för avsättning av TiN och andra hårda beläggningar på hårdmetallverktyg.Än så länge är det fortfarande en viktig teknik att avsätta TiN-Al20 kompositbeläggningar på hårdmetallverktygshuvuden.
2. Ihålig katodjonbeläggning och hettrådsbågjonbeläggning
På 1980-talet användes ihålig katodjonbeläggning och hettrådsbågjonbeläggning för att avsätta belagda skärverktyg.Båda dessa jonbeläggningstekniker är jonbeläggningstekniker med ljusbågsurladdning, med en metalljoniseringshastighet på upp till 20%~40%.
3. Katodbågjonbeläggning
Framväxten av katodisk bågjonbeläggning har lett till utvecklingen av tekniken för att avsätta hårda beläggningar på formar.Joniseringshastigheten för katodbågjonbeläggning är 60% ~ 90%, vilket gör att ett stort antal metalljoner och reaktionsgasjoner kan nå ytan av arbetsstycket och fortfarande upprätthålla hög aktivitet, vilket resulterar i reaktionsavsättning och bildning av hårda beläggningar som t.ex. Tenn.För närvarande används katodisk bågjonbeläggningsteknik huvudsakligen för att avsätta hårda beläggningar på formar.
Katodbågskällan är en solid-state förångningskälla utan en fast smält pool, och ljusbågskällans position kan placeras godtyckligt, vilket förbättrar utrymmesutnyttjandet av beläggningsrummet och ökar ugnens laddningskapacitet.Formerna på katodbågkällor inkluderar små cirkulära katodbågkällor, kolumnformade bågkällor och rektangulära platta storbågskällor.Olika komponenter i småbågskällor, kolumnformade bågkällor och stora bågkällor kan anordnas separat för att deponera flerskiktsfilmer och nanoflerskiktsfilmer.Samtidigt, på grund av den höga metalljoniseringshastigheten för katodbågjonbeläggning, kan metalljoner absorbera fler reaktionsgaser, vilket resulterar i ett brett processområde och enkel operation för att erhålla utmärkta hårda beläggningar.Emellertid finns det grova droppar i mikrostrukturen av beläggningsskiktet som erhålls genom katodisk bågjonbeläggning.Under de senaste åren har många nya tekniker dykt upp för att förfina filmskiktets struktur, vilket har förbättrat kvaliteten på bågjonbeläggningsfilmen.
——Denna artikel släpptes av Guangdong Zhenhua Technology, atillverkare av optiska beläggningsmaskiner.
Posttid: 2023-apr-28