Processen för beläggning av ihåliga katodjoner är som följer:
1、Sätt Chin-göt i kollapsen.
2、Montering av arbetsstycket.
3、Efter evakuering till 5×10-3Pa, införs argongas i beläggningskammaren från silverröret, och vakuumnivån är cirka 100Pa.
4、 Slå på förspänningsströmmen.
5、 Efter att ha slagit på bågströmmen för att tända den ihåliga katodurladdningen. Glödurladdningen genereras i knappröret, urladdningsspänningen är 800~1000V, den ljusbågshöjande strömmen är 30~50A. På grund av glödens ihåliga katodeffekt urladdning, Hög glödurladdningsströmtäthet, Den höga tätheten av ratjoner i silverröret bombarderar utsiktsrörets vägg, Få rörväggen att snabbt värmas upp till emission av elektronflöde, urladdningsläget från glödurladdningen plötsligt ändras till ljusbågsurladdning, spänningen är 40~70V, strömmen är 80~300A. Silverrörets temperatur når över 2300K, glödande, avger en högdensitetsström av bågelektroner från röret och skjuts till anoden.
6、Justering av vakuumnivån. Vakuumnivån för glödurladdning från ihålig katodpistol är cirka 100 Pa, och vakuumgraden för beläggningen är 8×10-1~2Pa. Därför, efter tändning av ljusbågsurladdningen, minska inkommande argon gas så snart som möjligt, Justera vakuumnivån till ett område som är lämpligt för beläggning.
7、Titanpläterat basskikt. Elektronflöde på det anodiskt kollapsade Chin-metallgötet, Omvandling av kinetisk energi till termisk energi, Avdunstning av Chin-metall genom uppvärmning, Ångatomer når arbetsstycket för att bilda en titanfilm.
8、Deposition av TiN. Kvävgas tillförs beläggningskammaren, kvävgas och förångade atomer joniseras till kväve- och titanjoner. Ovanför degeln, Högre sannolikhet för oelastiska kollisioner av titanångaatomer med täta strömmar av lågenergielektroner, Metalldissociationshastigheten är så hög som 20%~40%.,Titanjoner är mer benägna att reagera kemiskt med reaktionsgasen kväve,avsättning för att erhålla ett nitridmantelfilmskikt. Den ihåliga katodpistolen är både en förångningskälla,En annan källa av jonisering.Under beläggning,Strömmen av den elektromagnetiska spolen runt degeln bör också justeras,Fokusera elektronstrålen till mitten av kollapsen,Således ökas effekttätheten för elektronflödet.
9、Ström av. När filmtjockleken når den förutbestämda filmtjockleken, stäng av bågströmförsörjningen、Basströmförsörjning och lufttillförsel.
Posttid: 2023-08-08