Vakuumjonplätering (förkortat jonplätering) är en ny ytbehandlingsteknik som utvecklades snabbt på 1970-talet, vilket föreslogs av DM Mattox från Somdia Company i USA 1963. Det hänvisar till processen att använda förångningskälla eller sputtering mål för att förånga eller förstofta filmmaterialet i vakuumatmosfären.
Den förra är att generera metallånga genom att värma och förånga filmmaterialet, som delvis joniseras till metallånga och högenergi-neutrala atomer i gasurladdningsplasmautrymmet, och når substratet för att bilda en film genom inverkan av det elektriska fältet ;den senare använder högenergijoner (till exempel Ar+) bombarderar filmmaterialets yta så att de förstoftade partiklarna joniseras till joner eller neutrala högenergiatomer genom utrymmet för gasurladdningen och realiserar ytan av substratet att bilda en film.
Den här artikeln är publicerad av Guangdong Zhenhua, en tillverkare avvakuumbeläggningsutrustning
Posttid: Mar-10-2023