Devakuumbeläggningsutrustningär sammansatt av många exakta delar, som tillverkas genom många processer, såsom svetsning, slipning, svarvning, hyvling, borrning, fräsning och så vidare.På grund av dessa arbeten kommer ytan på utrustningsdelar oundvikligen att vara förorenad med vissa föroreningar som fett, oljesmuts, metallspån, svetsflöde, polerpasta, svettmärken och så vidare.Dessa föroreningar är lätta att förånga under vakuum, vilket påverkar utrustningens slutliga vakuum.
Dessutom absorberar dessa vakuumföroreningar från mekanisk bearbetning en stor mängd gas i atmosfärstrycksmiljön, och i vakuumtillståndet kommer dessa tidigare adsorberade gaser också att frigöras igen, vilket blir en viktig faktor som begränsar gränsvakuumet.Av denna anledning måste föroreningarna avlägsnas innan delarna i vakuumbeläggningsmaskinen monteras.
Under användningen av vakuumutrustning kommer dess komponenter också att förorenas.Men föroreningarna från denna källa orsakas främst av användningsförhållandena och vakuumpumpen.
1. Förångningen av vakuummätarens glödtråd under höga temperaturer kommer att leda till bildandet av en film på den keramiska isolatorn, vilket kommer att skada dess isoleringsstyrka i viss utsträckning och också ha en viss inverkan på dess noggrannhet. mått;
2. På grund av högtemperaturavdunstning kommer en metallfilm att bildas på ytan nära elektronkanonens glödtråd i vakuum;
3. På grund av förstoftning av arbetsstycket kommer den inre väggen av jonstråleetsningsutrustning att vara förorenad av stänk;
4. Innerväggen på vakuumavdunstningsbeläggningsutrustningen kommer att vara förorenad av dess avdunstningsmålmaterial;
5. Vakuumtorkningssystem används ofta, och systemet kommer att förorenas av de förångade ämnena;
6. Diffusionspumpoljan och mekanisk pumpolja i vakuumbeläggningsutrustningen är också en stor föroreningskälla.Efter att beläggningsmaskinen har arbetat länge kan en oljefilm bildas inuti utrustningen.
Sammanfattningsvis involverar vakuumsanering av utrustning vakuumutrustning, vakuumsystem, vakuumprocessproduktion och andra aspekter och länkar, såväl som kraven på själva vakuumbeläggningsutrustningen och speciell vakuumprocess för användningsförhållandena.Därför är vakuumföroreningar ett problem som är värt att uppmärksammas, eftersom dessa föroreningar kommer att påverka utrustningens prestanda, och uppmärksamhet bör ägnas åt regelbunden eller när som helst rengöring.
Posttid: 21 februari 2023