Vakuumbeläggningsprocessen har strikta krav på appliceringsmiljön.För den konventionella vakuumprocessen är dess huvudkrav för vakuumsanering: det finns ingen ackumulerad föroreningskälla på delarna eller ytan av utrustningen i vakuumet, ytan på vakuumkammaren är slät och fri från mjukvävnad, porer och hörnutrymme , så svetsen i vakuummaskinen kommer inte att påverka vakuumet, och högvakuummaskinen ska inte använda olja som smörjmedel.Det oljefria ultrahöga vakuumsystemet bör undvika påverkan av oljeånga på arbetsmediets renhet, arbetsprestanda eller ytegenskaper.Metallsystemet med ultrahögt vakuum använder ofta 1Cr18Ni9Ti som strukturmaterial.Laboratoriet eller verkstaden där vakuumbeläggningsmaskinen ska hållas ren och sanitär.
I processen med vakuumbeläggning är ytrengöringsbehandlingen mycket viktig.I grund och botten, innan alla substrat laddas i beläggningsvakuumkammaren, måste de gå igenom förpläteringsprocessen för att uppnå avfettning, dekontaminering och uttorkning av arbetsstycket.
De huvudsakliga källorna till ytförorening av pläterade delar är: damm, svett, fett, polerpasta, olja, smörjolja och andra ämnen som kommer att fästas vid bearbetning, överföring, förpackning och andra processer;Gas adsorberad och absorberad på ytan av utrustningsdelar;Oxidfilmen bildas på ytan av beläggningsmaskinens delar i våt luft.För föroreningar från dessa källor kan de flesta av dem avlägsnas genom avfettning eller kemisk rengöring.
Förvara inte rengjorda arbetsstycken i atmosfärisk miljö.För att minska dammföroreningar och rengöra lagringen av arbetsstycken, använd ofta rengöringsskåp eller slutna behållare för att lagra arbetsstycket.Glassubstratet måste lagras i en nyoxiderad aluminiumbehållare, vilket kan minska adsorptionen av kolväteånga.Eftersom nyligen oxiderade aluminiumbehållare företrädesvis adsorberar kolväten.Ytor som är känsliga för vattenånga eller mycket instabila förvaras vanligtvis i en vakuumtorkugn.
De grundläggande kraven för vakuumbeläggningsprocessen på miljön inkluderar främst: hög renhet i vakuumrummet, dammfritt i beläggningsrummet, etc. I vissa områden är luftfuktigheten relativt hög, så innan plätering behöver du inte bara rengöra komponenterna i substratet och vakuumkammaren, men behöver också göra baknings- och avgasningsarbetet.Dessutom, för att förhindra att olja kommer in i vakuumkammaren, är det också nödvändigt att vara uppmärksam på oljeretur och oljeblockerande åtgärder för tankningsdiffusionspumpen.
Posttid: 2023-02-18