Vad är beläggning av resistensförångningskälla?

Resistensförångningskällasbeläggning är en grundläggande vakuumförångningsbeläggningsmetod."Evaporation" avser en tunnfilmsframställningsmetod där beläggningsmaterialet i vakuumkammaren värms upp och förångas, så att materialatomerna eller molekylerna förångas och flyr från ytan och bildar ett ångflödesfenomen som faller in på ytan av materialet. substrat eller substrat, och slutligen kondenseras för att bilda en fast film.

Den så kallade resistensförångningskällans beläggningsmetoden är att använda tantal, molybden, volfram och andra metaller med hög smältpunkt för att göra en lämplig form av förångningskälla, som är laddad med material som ska förångas, låter luften strömma igenom, direkt värma och indunsta de förångade materialen, eller lägg materialen som ska förångas till aluminiumoxid, berylliumoxid och andra deglar för indirekt uppvärmning och förångning.Detta är förångningsmetoden för motståndsuppvärmning.

Devakuumförångningsbeläggningsmaskinuppvärmd och förångad av motståndsvärmare har fördelarna med enkel struktur, låg kostnad och pålitlig användning.Den kan användas för förångningsbeläggning av material med låg smältpunkt, speciellt för massproduktion med låga krav på beläggningskvalitet.Än så länge finns det fortfarande ett stort antal beläggningsprocesser för motståndsuppvärmning och förångning som används vid tillverkning av aluminiserade speglar.

Nackdelarna med motståndsförångningskällans förångningsbeläggningsmetod är att den maximala temperaturen som kan uppnås genom uppvärmning är begränsad, och värmarens livslängd är också kort.Under de senaste åren, för att förbättra livslängden för motståndsförångningskällan, har utrustningsfabriken antagit det ledande keramiska materialet syntetiserat av bornitrid med lång livslängd som förångningskälla.Enligt en japansk patentrapport kan den använda material som består av 20% ~ 30% bornitrid och eldfasta material som kan smältas med det för att göra förångningskällan (degeln), och belägga dess yta med ett lager av zirkonium innehållande 62% ~82%, och resten är zirkonium-kisellegeringsmaterial.