Vad är den tekniska principen för hårdbeläggningsutrustning för ihålig katod?

Jonbeläggning innebär att reaktanterna eller förångade material avsätts på substratet genom jonbombardemang av gasjoner eller förångade material medan de förångade materialen dissocieras eller gas släpps ut i en vakuumkammare.Den tekniska principen för hårdbeläggningsutrustning för ihålig katod är jonbeläggning med ihålig katod, som är en ihålig katodurladdningsteknik.

Om principen för ihålig katodurladdning: Tekniken för utfällning av ihålig katod använder en het katodurladdning för att generera en plasmastråle, och katoden är ett ihåligt tantalrör.Katoden och hjälpanoden ligger nära varandra, vilket är de två polerna som tänder ljusbågsurladdningen.

Den ihåliga katodurladdningspistolen antänds på två sätt.
1, Användningen av högfrekvent elektriskt fält applicerat på katodtantalröret, så att katodtantalröret argongasjonisering till argonjoner och sedan utlöses av katodtantalröret kontinuerligt bombarderat av argonjoner, tills värmen värms upp till lägsta temperaturstandard för elektronemission och generera plasmaelektronstråle.

2, I hjälpanoden och katodtantalröret mellan appliceringen av ca 300V DC-spänning, passerar katodtantalröret fortfarande in i argongasen, i 1Pa-10Pa argongastrycket, hjälpanoden och katodtantalrörets glödurladdningsfenomen, genereringen av argonjonbeskjutning bombarderar ständigt katodtantalröret, tills 2300K-2400K temperatur, katodtantalröret avger ett stort antal elektroner, kommer att ändras från "glödurladdning" till "bågarladdning", denna gång är spänningen som låga som 30V-60V, så länge som katoden och anoden mellan strömförsörjningen, kan du generera plasmaelektronstråle.

Katodisk beläggningsutrustning
1、Förbättra den ursprungliga pistolstrukturen, från den ursprungliga maximala strömmen på 230A till 280A.
2、Förbättra den ursprungliga kylsystemets struktur, från den ursprungliga 4℃ isvattenmaskinkylningen till kylvattenkylning i rumstemperatur, vilket sparar elkostnaden för användarna.
3, Förbättra den ursprungliga mekaniska transmissionsstrukturen, ändrad till magnetisk vätsketransmissionsstruktur, hög temperatur kommer inte att blockera den roterande ramen.
4, det effektiva ytbeläggningsområdet ￠ 650X1100, kan rymma 750 X 1250X600 överdimensionerade form- och redskapstillverkare av extra lång brosch, med en mycket stor volym.

Den ihåliga katodjonbeläggningsmaskinen används huvudsakligen vid plätering av verktyg, formar, stora spegelformar, plastformar, hobbingknivar och andra produkter.