Jonbeläggningmaskin härstammade från teorin som föreslogs av DM Mattox på 1960-talet, och motsvarande experiment började vid den tiden;Fram till 1971 publicerade Chambers och andra tekniken för elektronstrålejonplätering;Tekniken för reaktiv evaporation plating (ARE) påpekades i Bunshah-rapporten 1972, när superhårda filmtyper som TiC och TiN producerades;Också 1972 antog Smith och Molley den ihåliga katodteknologin i beläggningsprocessen.På 1980-talet hade jonplätering i Kina äntligen nått nivån för industriell tillämpning, och beläggningsprocesser som vakuum flerbågsjonplätering och bågurladdning jonplätering hade dykt upp successivt.
Hela arbetsprocessen för vakuumjonplätering är som följer: först,pumpvakuumkammaren och sedanväntavakuumtrycket till 4X10 ⁻ 3 Paeller bättre, är det nödvändigt att ansluta högspänningsströmförsörjningen och bygga ett lågtemperaturplasmaområde av lågspänningsurladdningsgas mellan substratet och förångaren.Anslut substratelektroden med 5000V DC negativ högspänning för att bilda en glödurladdning av katoden.Inerta gasjoner genereras nära det negativa glödområdet.De går in i katodens mörka område och accelereras av det elektriska fältet och bombarderar ytan av substratet.Detta är en rengöringsprocess, och gå sedan in i beläggningsprocessen.Genom effekten av bombardementsuppvärmning förångas vissa pläteringsmaterial.Plasmaområdet kommer in i protonerna, kolliderar med elektroner och inerta gasjoner, och en liten del av dem joniseras. Dessa joniserade joner med hög energi kommer att bombardera filmytan och förbättra filmkvaliteten till viss del.
Principen för vakuumjonplätering är: i vakuumkammaren, med användning av gasurladdningsfenomenet eller den joniserade delen av det förångade materialet, under bombardemang av det förångade materialet joner eller gasjoner, samtidigt avsätta dessa förångade ämnen eller deras reaktanter på substratet för att få en tunn film.Jonbeläggningenmaskinkombinerar vakuumavdunstning, plasmateknik och gasglödsurladdning, vilket inte bara förbättrar filmkvaliteten, utan även utökar filmens användningsområde.Fördelarna med denna process är stark diffraktion, god filmvidhäftning och olika beläggningsmaterial.Principen för jonplätering föreslogs först av DM Mattox.Det finns många typer av jonplätering.Den vanligaste typen är förångningsuppvärmning, inklusive motståndsuppvärmning, elektronstråleuppvärmning, plasmaelektronstråleuppvärmning, högfrekvent induktionsuppvärmning och andra uppvärmningsmetoder.
Posttid: 2023-02-14