Teknolojia ya mipako ya CVD ina sifa zifuatazo:
1. Uendeshaji wa mchakato wa vifaa vya CVD ni rahisi na rahisi, na inaweza kuandaa filamu moja au composite na filamu za alloy na uwiano tofauti;
2. Mipako ya CVD ina aina mbalimbali ya maombi, na inaweza kutumika kuandaa mipako mbalimbali ya chuma au chuma ya filamu;
3. Ufanisi wa juu wa uzalishaji kutokana na viwango vya uwekaji kuanzia mikroni chache hadi mamia ya maikroni kwa dakika;
4. Ikilinganishwa na mbinu ya PVD, CVD ina utendakazi bora wa utengano na inafaa sana kwa kupaka vijiti vilivyo na maumbo changamano, kama vile grooves, mashimo yaliyofunikwa, na hata miundo ya shimo pofu.Mipako inaweza kuingizwa kwenye filamu yenye uunganisho mzuri.Kwa sababu ya joto la juu wakati wa mchakato wa kutengeneza filamu, na mshikamano mkali kwenye kiolesura cha substrate ya filamu, safu ya filamu ni thabiti sana.
5. Uharibifu unaosababishwa na mionzi ni duni na unaweza kuunganishwa na michakato ya mzunguko jumuishi ya MOS.
——Nakala hii imechapishwa na Guangdong Zhenhua, amtengenezaji wa mashine ya mipako ya utupu
Muda wa posta: Mar-29-2023