Tabia za filamu za mipako ya sputtering

① Udhibiti mzuri na kurudiwa kwa unene wa filamu

Ikiwa unene wa filamu unaweza kudhibitiwa kwa thamani iliyoamuliwa mapema inaitwa udhibiti wa unene wa filamu.Unene wa filamu unaohitajika unaweza kurudiwa kwa mara nyingi, ambayo inaitwa unene wa filamu kurudia.Kwa sababu sasa ya kutokwa na lengo la mipako ya sputtering ya utupu inaweza kudhibitiwa tofauti.Kwa hiyo, unene wa filamu iliyopigwa inaweza kudhibitiwa, na filamu yenye unene uliotanguliwa inaweza kuwekwa kwa uhakika.Kwa kuongeza, mipako ya sputter inaweza kupata filamu yenye unene wa sare kwenye uso mkubwa.

② Kushikamana kwa nguvu kati ya filamu na mkatetaka

Nishati ya atomi zilizosambaa ni oda 1-2 za ukubwa wa juu kuliko ile ya atomi zilizovukizwa.Ubadilishaji wa nishati wa atomi za juu-nishati zilizosambazwa zilizowekwa kwenye substrate ni kubwa zaidi kuliko ile ya atomi iliyovukizwa, ambayo hutoa joto la juu na huongeza mshikamano kati ya atomi zilizopigwa na substrate.Kwa kuongeza, baadhi ya atomi za sputtered za juu-nishati hutoa digrii tofauti za sindano, na kutengeneza safu ya pseudodiffusion kwenye substrate.Kwa kuongeza, substrate daima husafishwa na kuanzishwa katika eneo la plasma wakati wa mchakato wa kutengeneza filamu, ambayo huondoa atomi za sputtering na kujitoa dhaifu, na kutakasa na kuamsha uso wa substrate.Kwa hiyo, filamu iliyopigwa ina mshikamano mkali kwa substrate.

③ Filamu mpya ya nyenzo tofauti na lengo inaweza kutayarishwa

Iwapo gesi tendaji italetwa wakati wa kunyunyiza ili kuifanya iitikie lengwa, filamu mpya ya nyenzo tofauti kabisa na inayolengwa inaweza kupatikana.Kwa mfano, silicon hutumiwa kama shabaha ya kunyunyiza, na oksijeni na argon huwekwa kwenye chumba cha utupu pamoja.Baada ya kunyunyiza, filamu ya kuhami ya SiOz inaweza kupatikana.Kwa kutumia titanium kama shabaha ya kunyunyiza, nitrojeni na argon huwekwa kwenye chumba cha utupu pamoja, na filamu ya awamu ya TiN inayofanana na dhahabu inaweza kupatikana baada ya kunyunyiza.

④ Usafi wa hali ya juu na ubora mzuri wa filamu

Kwa kuwa hakuna sehemu ya crucible katika kifaa cha maandalizi ya filamu ya sputtering, vipengele vya nyenzo za heater crucible hazitachanganywa katika safu ya filamu ya sputtering.Hasara za mipako ya sputtering ni kwamba kasi ya kutengeneza filamu ni polepole kuliko ile ya mipako ya uvukizi, joto la substrate ni kubwa zaidi, ni rahisi kuathiriwa na gesi ya uchafu, na muundo wa kifaa ni ngumu zaidi.

Makala hii imechapishwa na Guangdong Zhenhua, mtengenezaji wavifaa vya mipako ya utupu