Filamenti ya tungsten inapokanzwa kwa joto la juu ambalo hutoa elektroni za moto ili kutoa mkondo wa elektroni wa juu-wiani, na wakati huo huo electrode ya kuongeza kasi imewekwa ili kuharakisha elektroni za moto kwenye mkondo wa elektroni wa juu-nishati. High-wiani, high-nishati elektroni kati yake inaweza kuwa zaidi klorini ionization, zaidi ya chuma filamu safu atomi ionized kupata ions kloridi zaidi ili kuboresha kiwango cha sputtering, na hivyo kuongeza kiwango cha utuaji: inaweza kuwa zaidi ya chuma ionization kuboresha chuma ionization kiwango, mazuri kwa mmenyuko wa utuaji wa filamu kiwanja; ions safu ya filamu ya chuma kufikia workpiece ili kuboresha msongamano wa sasa wa kipande cha kazi, na hivyo kuongeza kiwango cha utuaji.
Katika magnetron sputtering mipako ngumu, Kuongeza msongamano wa sasa na shirika filamu ya workpiece mbele na nyuma ya cathodizing moto. TiSiCN kabla ya kuongezwa kwa cathode ya moto, wiani wa sasa kwenye workpiece ni 0.2mA/mm tu, baada ya kuongezeka kwa cathode ya moto hadi 4.9mA/mm2, ambayo ni sawa na ongezeko la mara 24 au zaidi, na shirika la filamu ni mnene zaidi. Inaweza kuonekana kuwa katika teknolojia ya mipako ya magnetron sputtering, kuongeza ya cathode ya moto ni nzuri sana katika kuboresha kiwango cha uwekaji wa magnetron sputtering na shughuli za chembe za filamu. Teknolojia hii inaweza kuboresha kwa kiasi kikubwa maisha ya vile vile vya turbine, mabomba ya kusukuma matope na sehemu za kusagia.
- Nakala hii imetolewa namtengenezaji wa mashine ya mipako ya utupuGuangdong Zhenhua
Muda wa kutuma: Oct-11-2023