1. Teknolojia ya CVD ya joto
Mipako ngumu ni zaidi ya mipako ya kauri ya chuma (TiN, nk), ambayo hutengenezwa na mmenyuko wa chuma katika mipako na gasification tendaji.Hapo awali, teknolojia ya mafuta ya CVD ilitumiwa kutoa nishati ya uanzishaji ya mmenyuko wa mchanganyiko na nishati ya joto kwa joto la juu la 1000 ℃.Halijoto hii inafaa tu kwa kuweka TiN na mipako mingine migumu kwenye zana za CARBIDE zilizoimarishwa.Kufikia sasa, bado ni teknolojia muhimu kuweka mipako ya utungaji ya TiN-Al20 kwenye vichwa vya zana za carbudi zilizoimarishwa.
2. Mipako ya ion ya cathode yenye mashimo na mipako ya ion ya arc ya waya ya moto
Katika miaka ya 1980, mipako ya ioni ya cathode yenye mashimo na mipako ya arc ya waya ya moto ilitumiwa kuweka zana za kukata zilizofunikwa.Teknolojia zote mbili za mipako ya ioni ni teknolojia ya mipako ya ion ya arc, na kiwango cha ionization ya chuma cha hadi 20% ~ 40%.
3. Mipako ya arc ion ya cathode
Kuibuka kwa mipako ya cathodic arc ion imesababisha maendeleo ya teknolojia ya kuweka mipako ngumu kwenye molds.Kiwango cha ionization ya mipako ya cathodic arc ion ni 60% ~ 90%, kuruhusu idadi kubwa ya ioni za chuma na ioni za gesi ya mmenyuko kufikia uso wa sehemu ya kazi na bado kudumisha shughuli za juu, na kusababisha utuaji wa athari na uundaji wa mipako ngumu kama vile. TiN.Kwa sasa, teknolojia ya mipako ya cathodic arc ion inatumiwa hasa kuweka mipako ngumu kwenye molds.
Chanzo cha arc ya cathode ni chanzo cha uvukizi wa hali imara bila bwawa la kuyeyuka, na nafasi ya chanzo cha arc inaweza kuwekwa kiholela, kuboresha kiwango cha matumizi ya nafasi ya chumba cha mipako na kuongeza uwezo wa upakiaji wa tanuru.Maumbo ya vyanzo vya arc cathode ni pamoja na vyanzo vidogo vya arc ya cathode ya duara, vyanzo vya safu ya safu, na vyanzo vya safu kubwa ya mstatili.Vipengele tofauti vya vyanzo vidogo vya safu, vyanzo vya safu ya safu, na vyanzo vikubwa vya safu vinaweza kupangwa kando ili kuweka filamu za safu nyingi na filamu za safu nyingi za nano.Wakati huo huo, kutokana na kiwango cha juu cha ionization ya chuma cha mipako ya cathodic arc ion, ioni za chuma zinaweza kunyonya gesi nyingi za majibu, na kusababisha mchakato mpana na uendeshaji rahisi kupata mipako bora ngumu.Hata hivyo, kuna matone ya coarse katika microstructure ya safu ya mipako iliyopatikana kwa mipako ya cathodic arc ion.Katika miaka ya hivi karibuni, teknolojia nyingi mpya zimeibuka ili kuboresha muundo wa safu ya filamu, ambayo imeboresha ubora wa filamu ya mipako ya arc ion.
——Makala haya yametolewa na Guangdong Zhenhua Technology, amtengenezaji wa mashine za mipako ya macho.
Muda wa kutuma: Apr-28-2023