Sheria ya ukuaji wa safu ya filamu ya uvukizi wa uvukizi

Wakati wa mipako ya uvukizi, nucleation na ukuaji wa safu ya filamu ni msingi wa teknolojia mbalimbali za mipako ya ion

1.Nucleation

Inteknolojia ya mipako ya uvukizi wa utupu,baada ya chembe za safu ya filamu kuyeyushwa kutoka kwa chanzo cha uvukizi kwa namna ya atomi, huruka moja kwa moja kwenye sehemu ya kazi katika utupu wa juu na kuunda safu ya filamu kwa nucleation na ukuaji juu ya uso wa workpiece.Wakati wa uvukizi wa utupu, nishati ya atomi ya safu ya filamu inayotoka kwenye chanzo cha uvukizi ni karibu 0.2eV.Wakati mshikamano kati ya chembe za safu ya filamu ni kubwa kuliko nguvu ya kuunganisha kati ya atomi za safu ya filamu na workpiece, tengeneza kiini cha kisiwa.Atomu ya safu moja ya filamu hukaa juu ya uso wa sehemu ya kufanyia kazi kwa muda wa muda ikifanya harakati zisizo za kawaida, mtawanyiko, uhamaji, au mgongano na atomi nyingine kuunda makundi ya atomiki Idadi ya atomi katika nguzo ya atomiki hufikia thamani fulani muhimu, imara. kiini huundwa, kinachoitwa kiini chenye umbo la homogeneous.

laini, na ina kasoro nyingi na hatua, ambayo husababisha tofauti katika nguvu ya adsorption ya sehemu tofauti za workpiece kwa atomi za mionzi.Nishati ya adsorption ya uso wa kasoro ni kubwa zaidi kuliko ile ya uso wa kawaida, hivyo inakuwa kituo cha kazi, ambacho kinafaa kwa nucleation ya upendeleo, inayoitwa nucleation ya heterogeneous.Wakati nguvu ya mshikamano ni sawa na nguvu ya kumfunga, au nguvu ya kumfunga kati ya atomi za membrane na workpiece ni kubwa kuliko nguvu ya kushikamana kati ya atomi za membrane, muundo wa lamellar huundwa.Katika teknolojia ya uwekaji wa ion, msingi wa kisiwa huundwa katika hali nyingi.

2.Ukuaji

Mara tu kiini cha filamu kinapoundwa, kinaendelea kukua kwa kukamata atomi za tukio.Visiwa vinakua na kuchanganya na kila mmoja ili kuunda hemispheres kubwa, hatua kwa hatua kutengeneza safu ya kisiwa cha hemispherical ambayo inaenea juu ya uso wa workpiece.

Wakati nishati ya atomiki ya safu ya filamu iko juu, inaweza kuenea kwa kutosha juu ya uso na filamu laini inayoendelea inaweza kuundwa wakati makundi ya atomiki yanayokuja ni madogo. nguzo zilizowekwa ni kubwa, zipo kama nuclei kubwa za peninsula. Sehemu ya juu ya msingi wa kisiwa ina athari kubwa ya kivuli kwenye sehemu ya concave, hiyo ni "athari ya kivuli". na ukuaji wa upendeleo, unaosababisha kuongezeka kwa kiwango cha concavity juu ya uso ili kuunda fuwele za conical au columnar za ukubwa wa kutosha.Utupu wa kupenya huundwa kati ya fuwele za conical na thamani ya ukali wa uso huongezeka.Tissue nzuri inaweza kupatikana kwa utupu wa juu, na kupungua kwa kiwango cha utupu, muundo wa microstructure unakuwa mzito na zaidi.