Mchakato wa Upakaji wa Ion wa Chanzo Kidogo cha Arc

Mchakato wa mipako ya ioni ya chanzo cha cathodic arc kimsingi ni sawa na teknolojia zingine za upakaji, na shughuli zingine kama vile kusakinisha vifaa vya kufanya kazi na utupu harudiwi tena.

1.Kusafisha kwa bombardment ya vifaa vya kazi

Kabla ya mipako, gesi ya argon huletwa ndani ya chumba cha mipako na utupu wa 2 × 10-2Pa.

Washa usambazaji wa nguvu wa upendeleo wa kunde, na mzunguko wa wajibu wa 20% na upendeleo wa workpiece wa 800-1000V.

Wakati nguvu ya arc imewashwa, kutokwa kwa mwanga wa arc ya shamba la baridi huzalishwa, ambayo hutoa kiasi kikubwa cha sasa cha elektroni na ioni ya titani kutoka kwa chanzo cha arc, na kutengeneza plasma ya juu-wiani.Ioni ya titanium huharakisha sindano yake kwenye kiboreshaji cha kazi chini ya shinikizo hasi la upendeleo wa hali ya juu linalotumika kwa kiboreshaji, kupiga bombarding na kunyunyiza gesi iliyobaki na uchafuzi unaotangazwa kwenye uso wa kiboreshaji, na kusafisha na kusafisha uso wa kiboreshaji;Wakati huo huo, gesi ya klorini katika chumba cha mipako ni ionized na elektroni, na ioni za argon huharakisha bombardment ya uso wa workpiece.

Kwa hiyo, athari ya kusafisha bombardment ni nzuri.Takriban dakika 1 tu ya kusafisha bombardment inaweza kusafisha sehemu ya kazi, ambayo inaitwa "bomu kuu la arc".Kutokana na wingi wa ioni za titani, ikiwa chanzo kidogo cha arc kinatumiwa kupiga bombard na kusafisha workpiece kwa muda mrefu sana, hali ya joto ya workpiece inakabiliwa na overheating, na makali ya chombo inaweza kuwa laini.Katika uzalishaji wa jumla, vyanzo vidogo vya arc huwashwa moja kwa moja kutoka juu hadi chini, na kila chanzo kidogo cha arc kina muda wa kusafisha bombardment wa kama dakika 1.

(1) Kuweka safu ya chini ya titani

Ili kuboresha mshikamano kati ya filamu na substrate, safu ya substrate safi ya titani kawaida hupakwa kabla ya kuweka nitridi ya titani.Rekebisha kiwango cha utupu hadi 5×10-2-3×10-1Pa, rekebisha voltage ya upendeleo wa sehemu ya kazi hadi 400-500V, na urekebishe mzunguko wa wajibu wa usambazaji wa umeme wa upendeleo wa kunde hadi 40%~50%.Bado inawasha vyanzo vidogo vya safu moja baada ya nyingine ili kutoa utepetevu wa utepe wa uga.Kutokana na kupungua kwa voltage hasi ya upendeleo wa workpiece, nishati ya ioni za titani hupungua.Baada ya kufikia kipengee cha kazi, athari ya sputtering ni chini ya athari ya utuaji, na safu ya mpito ya titani huundwa kwenye workpiece ili kuboresha nguvu ya kuunganisha kati ya safu ya filamu ya nitridi ya titani na substrate.Utaratibu huu pia ni mchakato wa kupokanzwa workpiece.Wakati shabaha safi ya titani inapotolewa, mwanga katika plasma ni bluu ya azure.

1.Amoniated bakuli filamu ngumu mipako

Rekebisha kiwango cha utupu hadi 3×10^-1-5Pa, rekebisha voltage ya upendeleo wa sehemu ya kazi hadi 100-200V, na urekebishe mzunguko wa wajibu wa usambazaji wa nishati ya upendeleo wa kunde hadi 70% ~ 80%.Baada ya nitrojeni kuletwa, titani ni mmenyuko mchanganyiko na plasma ya kutokwa kwa arc ili kuweka filamu ngumu ya nitridi ya titani.Katika hatua hii, mwanga wa plasma katika chumba cha utupu ni nyekundu ya cherry.Ikiwa C₂H₂, O₂, nk huletwa, TiCN, TiO₂, nk safu za filamu zinaweza kupatikana.

-Nakala hii ilitolewa na Guangdong Zhenhua, amtengenezaji wa mashine ya mipako ya utupu