Je! ni michakato gani ya mashine ya mipako ya utupu?Kanuni ya kazi ni nini?

Themipako ya utupuMchakato wa mashine umegawanywa katika: mipako ya uvukizi wa utupu, mipako ya sputtering ya utupu na mipako ya ion ya utupu.

1, Mipako ya uvukizi wa utupu

Chini ya hali ya utupu, kufanya nyenzo evaporated, kama vile chuma, aloi ya chuma, nk kisha kuziweka juu ya uso substrate, uvukizi mbinu mipako ni mara nyingi kutumia inapokanzwa upinzani, na kisha boriti elektroni bombardment ya nyenzo mipako, kuwafanya. huvukizwa katika awamu ya gesi, kisha kuwekwa kwenye uso wa substrate, kihistoria, uwekaji wa mvuke wa utupu ni teknolojia ya awali iliyotumiwa katika mbinu ya PVD.

2, mipako ya kunyunyiza

Gesi hiyo hutokwa na mwangaza chini ya hali ya utupu iliyojazwa na (Ar)Kwa wakati huu atomi ya atomu ya argon (Ar) kuwa ioni za nitrojeni (Ar), ayoni huharakishwa kwa nguvu ya uwanja wa umeme, na kushambulia shabaha ya cathode ambayo imetengenezwa kwa nyenzo za upako, lengo litatupwa nje na kuwekwa kwenye uso wa substrate Ioni za tukio katika mipako ya sputter, kwa ujumla hupatikana kwa kutokwa kwa mwanga, ni kati ya 10-2pa hadi 10Pa，Hivyo chembe zilizopigwa ni rahisi kugongana. na molekuli za gesi kwenye chemba ya utupu wakati wa kuruka kuelekea substrate, na kufanya mwelekeo wa mwendo bila mpangilio na filamu iliyowekwa iwe rahisi kuwa sare.

3, mipako ya ion

Chini ya hali ya utupu, Chini ya hali ya utupu, Imetumia mbinu fulani ya uwekaji wa plasma ili kuainisha sehemu ya atomi za nyenzo za mipako kuwa ioni. Wakati huo huo atomi nyingi za nishati zisizo na nishati nyingi huzalishwa , ambazo zina upendeleo hasi kwenye substrate. Kwa njia hii, ayoni. zimewekwa kwenye uso wa substrate chini ya upendeleo wa kina hasi ili kuunda filamu nyembamba.