Karibu Guangdong Zhenhua Technology Co., Ltd.
bango_moja

Utangulizi wa teknolojia ya mipako ya uvukizi wa utupu

Chanzo cha makala:Zhenhua vacuum
Soma:10
Imechapishwa:22-10-28

Kanuni ya mipako ya uvukizi wa utupu

1, Vifaa na mchakato wa kimwili wa mipako ya uvukizi wa utupu
Vifaa vya mipako ya uvukizi wa utupu huundwa hasa na chumba cha utupu na mfumo wa uokoaji.Ndani ya chumba cha utupu, kuna chanzo cha uvukizi (yaani hita ya uvukizi), substrate na sura ya substrate, hita ya substrate, mfumo wa kutolea nje, nk.
Nyenzo za mipako huwekwa kwenye chanzo cha uvukizi wa chumba cha utupu, na chini ya hali ya juu ya utupu, huwashwa na chanzo cha uvukizi ili kuyeyuka.Wakati safu huru ya wastani ya molekuli za mvuke ni kubwa kuliko saizi ya mstari wa chumba cha utupu, baada ya atomi na molekuli za mvuke wa filamu kutoroka kutoka kwa uso wa chanzo cha uvukizi, hazizuiliwi na mgongano wa molekuli au atomi zingine; na moja kwa moja kufikia uso wa substrate kuwa coated.Kutokana na joto la chini la substrate, chembe za mvuke za filamu hupanda juu yake na kuunda filamu.
Ili kuboresha mshikamano wa molekuli za uvukizi na substrate, substrate inaweza kuanzishwa kwa joto sahihi au kusafisha ion.Mipako ya uvukizi wa ombwe hupitia michakato ifuatayo ya kimwili kutoka kwa uvukizi wa nyenzo, usafirishaji hadi utuaji ndani ya filamu.
(1)Kwa kutumia njia mbalimbali za kubadilisha aina nyingine za nishati kuwa nishati ya joto, nyenzo za filamu huwashwa ili kuyeyuka au kusalimishwa kuwa chembe za gesi (atomi, molekuli au makundi ya atomiki) kwa kiasi fulani cha nishati (0.1 hadi 0.3 eV).
(2)Chembe za gesi huondoka kwenye uso wa filamu na kusafirishwa hadi kwenye uso wa substrate kwa kasi fulani ya mwendo, kimsingi bila mgongano, kwa mstari wa moja kwa moja.
(3)Chembe chembe za gesi zinazofikia uso wa substrate huungana na nukleati, na kisha hukua hadi kuwa filamu ya awamu dhabiti.
(4)Kupanga upya au kuunganisha kemikali kwa atomi zinazounda filamu.

Utangulizi wa teknolojia ya mipako ya uvukizi wa utupu

2, Kupokanzwa kwa uvukizi

(1) Uvukizi wa kupokanzwa unaostahimili
Uvukizi wa kupokanzwa unaostahimili ni njia rahisi na inayotumika zaidi ya kupokanzwa, kwa ujumla inatumika kwa nyenzo za kupaka zenye kiwango cha kuyeyuka chini ya 1500 ℃, metali zenye kiwango cha juu cha kuyeyuka katika umbo la waya au karatasi (W, Mo, Ti, Ta, nitridi ya boroni, n.k.) kawaida kufanywa katika sura ya kufaa ya chanzo uvukizi, kubeba na vifaa uvukizi, kwa njia ya joto Joule ya sasa ya umeme kuyeyuka, kuyeyuka au kusalisha nyenzo mchovyo, umbo la chanzo uvukizi hasa ni pamoja na multi-strand ond, U-umbo, sine wimbi. , sahani nyembamba, mashua, kikapu cha koni, nk Wakati huo huo, njia hiyo inahitaji nyenzo za chanzo cha uvukizi kuwa na kiwango cha juu cha myeyuko, shinikizo la mvuke ya kueneza, mali ya kemikali imara, kutokuwa na mmenyuko wa kemikali na nyenzo za mipako kwenye joto la juu; upinzani mzuri wa joto, mabadiliko madogo katika msongamano wa nguvu, n.k. Inachukua mkondo wa juu kupitia chanzo cha uvukizi ili kuifanya iwe joto na kuyeyusha nyenzo za filamu kwa kupokanzwa moja kwa moja, au kuweka nyenzo za filamu kwenye crucible iliyotengenezwa na grafiti na sugu fulani ya joto la juu. oksidi za chuma (kama vile A202, B0) na vifaa vingine vya kupokanzwa kwa njia isiyo ya moja kwa moja kuyeyuka.
Upinzani wa mipako ya uvukizi wa joto ina vikwazo: metali za kinzani zina shinikizo la chini la mvuke, ambayo ni vigumu kufanya filamu nyembamba;baadhi ya vipengele ni rahisi kuunda alloy na waya inapokanzwa;si rahisi kupata utungaji sare wa filamu ya alloy.Kwa sababu ya muundo rahisi, bei ya chini na uendeshaji rahisi wa njia ya uvukizi wa kupokanzwa inapokanzwa, ni matumizi ya kawaida sana ya njia ya uvukizi.

(2) Uvukizi wa boriti ya elektroni inapokanzwa
Uvukizi wa boriti ya elektroni ni njia ya kuyeyusha nyenzo za mipako kwa kuipiga kwa boriti ya elektroni yenye nguvu nyingi kwa kuiweka kwenye crucible ya shaba iliyopozwa na maji.Chanzo cha uvukizi kina chanzo cha utoaji wa elektroni, chanzo cha nguvu cha kuongeza kasi ya elektroni, crucible (kawaida crucible ya shaba) , coil ya magnetic shamba, na kuweka maji ya baridi, nk Katika kifaa hiki, nyenzo za joto huwekwa kwenye maji. crucible kilichopozwa, na boriti ya elektroni hupiga sehemu ndogo sana ya nyenzo, wakati nyenzo nyingi zilizobaki zinabaki kwenye joto la chini sana chini ya athari ya baridi ya crucible, ambayo inaweza kuonekana kama sehemu ya bombarded ya crucible.Kwa hivyo, njia ya kupokanzwa boriti ya elektroni kwa uvukizi inaweza kuzuia uchafuzi kati ya nyenzo za mipako na nyenzo za chanzo cha uvukizi.
Muundo wa chanzo cha uvukizi wa boriti ya elektroni inaweza kugawanywa katika aina tatu: bunduki moja kwa moja (bunduki za Boules) , bunduki za pete (zilizopotoka kwa umeme) na e-bunduki (zilizopotoka kwa sumaku) .Kiini kimoja au zaidi kinaweza kuwekwa kwenye kituo cha uvukizi, ambacho kinaweza kuyeyuka na kuweka vitu vingi tofauti kwa wakati mmoja au tofauti.

Vyanzo vya uvukizi wa boriti ya elektroni vina faida zifuatazo.
①Msongamano mkubwa wa boriti ya chanzo cha uvukizi wa boriti ya elektroni inaweza kupata msongamano mkubwa zaidi wa nishati kuliko chanzo cha joto kinachokinza, ambacho kinaweza kuyeyusha nyenzo za kiwango cha juu cha kuyeyuka, kama vile W, Mo, Al2O3, n.k..
②Nyenzo za kupaka huwekwa kwenye chombo cha shaba kilichopozwa na maji, ambacho kinaweza kuzuia uvukizi wa nyenzo za chanzo cha uvukizi, na majibu kati yao.
③ Joto linaweza kuongezwa moja kwa moja kwenye uso wa nyenzo za mipako, ambayo hufanya ufanisi wa joto kuwa juu na upotezaji wa upitishaji joto na mionzi ya joto kuwa chini.
Ubaya wa njia ya uvukizi wa boriti ya elektroni ni kwamba elektroni za msingi kutoka kwa bunduki ya elektroni na elektroni za sekondari kutoka kwenye uso wa nyenzo za mipako zitaongeza atomi za uvukizi na molekuli za gesi zilizobaki, ambayo itaathiri ubora wa filamu wakati mwingine.

(3) Uvukizi wa kupokanzwa kwa masafa ya juu
Uvukizi wa kupokanzwa kwa introduktionsutbildning ya mzunguko wa juu ni kuweka crucible na nyenzo za mipako katikati ya coil ya ond ya juu-frequency, ili nyenzo ya mipako itoe nguvu ya sasa ya eddy na athari ya hysteresis chini ya uingizaji wa uwanja wa sumaku ya juu-frequency, ambayo husababisha safu ya filamu ili joto hadi iweze kuyeyuka na kuyeyuka.Chanzo cha uvukizi kwa ujumla huwa na koili ya masafa ya juu iliyopozwa na maji na grafiti au kauri (oksidi ya magnesiamu, oksidi ya alumini, oksidi ya boroni, n.k.) ya kusagwa.Ugavi wa umeme wa mzunguko wa juu hutumia mzunguko wa elfu kumi hadi laki kadhaa za Hz, nguvu ya pembejeo ni kadhaa hadi kilowati mia kadhaa, ndogo ya kiasi cha nyenzo za membrane, juu ya mzunguko wa induction.Mzunguko wa coil ya induction kawaida hufanywa kwa bomba la shaba lililopozwa na maji.
Hasara ya njia ya uvukizi wa uvukizi wa induction ya juu-frequency ni kwamba si rahisi kurekebisha nguvu ya pembejeo, ina faida zifuatazo.
①Kiwango cha juu cha uvukizi
② Halijoto ya chanzo cha uvukizi ni sare na dhabiti, kwa hivyo si rahisi kutoa uzushi wa matone ya mipako, na inaweza pia kuzuia kutokea kwa mashimo kwenye filamu iliyowekwa.
③Chanzo cha uvukizi hupakiwa mara moja, na halijoto ni rahisi kiasi na ni rahisi kudhibiti.


Muda wa kutuma: Oct-28-2022