Vifaa vya mipako ya composite ya sputtering ya magnetron na mipako ya cathodic multi-arc ion inaweza kufanya kazi tofauti na wakati huo huo;inaweza kuwekwa na kutayarishwa filamu safi ya chuma, filamu ya kiwanja cha chuma au filamu ya mchanganyiko;inaweza kuwa safu moja ya filamu na filamu yenye safu nyingi.
Faida zake kama ifuatavyo:
Sio tu inachanganya faida za mipako mbalimbali ya ion na inazingatia utayarishaji na uwekaji wa filamu nyembamba kwa nyanja mbalimbali za maombi, lakini pia inaruhusu uwekaji na maandalizi ya filamu za monolithic za safu nyingi au filamu za safu nyingi katika utupu sawa. chumba cha mipako kwa wakati mmoja.
Utumizi wa tabaka za filamu zilizowekwa hutumika sana teknolojia zake ziko katika aina mbalimbali, zile za kawaida kama zifuatazo:
(1) Kiwanja cha sumaku zisizo za usawa za kunyunyiza na teknolojia ya upako wa ioni ya cathodic.
Kifaa chake kinaonyeshwa kama ifuatavyo.Ni vifaa vya mipako ya kiwanja ya shabaha ya magnetron ya safu na mipako ya cathodic arc ion iliyopangwa, ambayo inafaa kwa filamu ya kiwanja ya chombo na mipako ya filamu ya mapambo.Kwa mipako ya chombo, mipako ya cathodic arc ion hutumiwa kwanza kwa mipako ya safu ya msingi, na kisha lengo la magnetron la safu hutumiwa kwa utuaji wa nitridi na tabaka zingine za filamu ili kupata filamu ya uso ya chombo cha usindikaji cha usahihi wa juu.
Kwa mipako ya mapambo, filamu za mapambo ya TiN na ZrN zinaweza kuwekwa na mipako ya cathodic arc kwanza, na kisha kuingizwa na chuma kwa kutumia malengo ya magnetron, na athari ya doping ni nzuri sana.
(2) Mchanganyiko wa mbinu za upakaji wa magnetron za ndege pacha na safu wima ya arc ion ya cathode.Kifaa kinaonyeshwa kama ifuatavyo.Inatumika teknolojia ya shabaha ya hali ya juu, wakati shabaha mbili za ubavu kwa upande zimeunganishwa na usambazaji wa umeme wa masafa ya kati, sio tu inashinda sumu inayolengwa ya sputtering ya DC, moto na mapungufu mengine;na inaweza kuweka filamu ya ubora wa oksidi ya Al203, SiO2, ili upinzani wa oxidation wa sehemu zilizofunikwa umeongezeka na kuboreshwa.Lengo la safu ya safu nyingi imewekwa katikati ya chumba cha utupu, nyenzo inayolengwa inaweza kutumika Ti na Zr, sio tu kudumisha faida za kiwango cha juu cha utengano wa safu nyingi, kiwango cha utuaji, lakini pia inaweza kupunguza kwa ufanisi "matone" katika mchakato wa ndege ndogo mbalimbali arc lengo utuaji, inaweza kuhifadhi na kuandaa porosity ya chini ya filamu za chuma, filamu kiwanja.Ikiwa Al na Si zitatumika kama nyenzo zinazolengwa kwa shabaha mbili za sumaku iliyosanikishwa kwenye ukingo, filamu za kauri za Al203 au Si0 zinaweza kuwekwa na kutayarishwa.Kwa kuongezea, ndege nyingi ndogo za chanzo cha uvukizi wa safu nyingi zinaweza kusanikishwa kwenye pembezoni, na nyenzo inayolengwa inaweza kuwa Cr au Ni, na filamu za chuma na filamu zenye mchanganyiko wa safu nyingi zinaweza kuwekwa na kutayarishwa.Kwa hiyo, teknolojia hii ya mipako ya mchanganyiko ni teknolojia ya mipako yenye mchanganyiko na maombi mengi.
Muda wa kutuma: Nov-08-2022