1) பிளானர் இலக்குகளை விட உருளை இலக்குகள் அதிக பயன்பாட்டு விகிதத்தைக் கொண்டுள்ளன.பூச்சு செயல்பாட்டில், அது ஒரு சுழலும் காந்த வகையாக இருந்தாலும் அல்லது ஒரு சுழலும் குழாய் வகை உருளை ஸ்பட்டரிங் இலக்காக இருந்தாலும், இலக்குக் குழாயின் மேற்பரப்பின் அனைத்து பகுதிகளும் நிரந்தர காந்தத்தின் முன் உருவாகும் ஸ்பட்டரிங் பகுதி வழியாக தொடர்ந்து கத்தோட் ஸ்பட்டரிங்கைப் பெறுகின்றன, மேலும் இலக்கை ஒரே மாதிரியாக பொறிக்க முடியும், மேலும் இலக்கு பயன்பாட்டு விகிதம் அதிகமாக உள்ளது.இலக்கு பொருட்களின் பயன்பாட்டு விகிதம் சுமார் 80%~90% ஆகும்.
2) உருளை இலக்குகள் "இலக்கு விஷத்தை" உருவாக்குவது எளிதானது அல்ல.பூச்சு செயல்பாட்டின் போது, இலக்கு குழாயின் மேற்பரப்பு எப்பொழுதும் அயனிகளால் தெளிக்கப்பட்டு பொறிக்கப்படுகிறது, மேலும் தடிமனான ஆக்சைடுகள் மற்றும் பிற இன்சுலேடிங் படங்களை மேற்பரப்பில் குவிப்பது எளிதானது அல்ல, மேலும் "இலக்கு நச்சுத்தன்மையை" உருவாக்குவது எளிதானது அல்ல.
3) ரோட்டரி டார்கெட் டியூப் வகை உருளை ஸ்பட்டரிங் இலக்கின் அமைப்பு எளிமையானது மற்றும் நிறுவ எளிதானது.
4) உருளை இலக்கு குழாய் பொருள் பல்வேறு வகைகளைக் கொண்டுள்ளது.உலோக இலக்கு நேரடி நீர் குளிர்ச்சியுடன் கூடிய பிளானர் இலக்கு, மற்றும் சிலவற்றை செயலாக்க முடியாது மற்றும் உருளை இலக்குகளை உருவாக்க முடியாது, அதாவது In2-SnO2 இலக்கு போன்றவை பெரியது, மற்றும் உடையக்கூடியது, எனவே இலக்கு தளத்தில் ஒருங்கிணைத்து பின்னர் நிறுவ பிரேசிங் முறை மற்றும் தாமிர பேக் பிளேட்டைப் பயன்படுத்துவது அவசியம்.உலோகக் குழாய்களுக்கு மேலதிகமாக, துருப்பிடிக்காத எஃகு குழாய்களின் மேற்பரப்பில், Si, Cr போன்ற பூசப்பட வேண்டிய பல்வேறு பொருட்களுடன் நெடுவரிசை இலக்குகளையும் தெளிக்கலாம்.
தற்போது, தொழில்துறை உற்பத்தியில் பூச்சுக்கான உருளை இலக்குகளின் விகிதம் அதிகரித்து வருகிறது.உருளை இலக்குகள் செங்குத்து பூச்சு இயந்திரத்திற்கு மட்டுமல்ல, ரோல் டு ரோல் பூச்சு இயந்திரத்திலும் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.சமீபத்திய ஆண்டுகளில், பிளானர் இரட்டை இலக்குகள் படிப்படியாக உருளை இரட்டை இலக்குகளால் மாற்றப்படுகின்றன.
——இந்தக் கட்டுரை குவாங்டாங் ஜென்ஹுவா தொழில்நுட்பத்தால் வெளியிடப்பட்டது, ஏஆப்டிகல் பூச்சு இயந்திரங்களின் உற்பத்தியாளர்.
இடுகை நேரம்: மே-11-2023