① நல்ல கட்டுப்பாடு மற்றும் திரைப்பட தடிமன் மீண்டும் மீண்டும்
ஃபிலிம் தடிமனை முன்னரே தீர்மானிக்கப்பட்ட மதிப்பில் கட்டுப்படுத்த முடியுமா என்பது ஃபிலிம் தடிமன் கட்டுப்பாடு எனப்படும்.தேவையான ஃபிலிம் தடிமன் பல முறை மீண்டும் செய்யப்படலாம், இது ஃபிலிம் தடிமன் ரிப்பீட்டலிட்டி என அழைக்கப்படுகிறது.ஏனென்றால் வெற்றிட ஸ்பட்டரிங் பூச்சுகளின் வெளியேற்ற மின்னோட்டம் மற்றும் இலக்கு மின்னோட்டத்தை தனித்தனியாக கட்டுப்படுத்தலாம்.எனவே, தெளிக்கப்பட்ட படத்தின் தடிமன் கட்டுப்படுத்தக்கூடியது, மேலும் முன்னரே தீர்மானிக்கப்பட்ட தடிமன் கொண்ட படம் நம்பகத்தன்மையுடன் டெபாசிட் செய்யப்படலாம்.கூடுதலாக, ஸ்பட்டர் பூச்சு ஒரு பெரிய மேற்பரப்பில் சீரான தடிமன் கொண்ட ஒரு படத்தைப் பெறலாம்.
② படம் மற்றும் அடி மூலக்கூறு இடையே வலுவான ஒட்டுதல்
சிதறிய அணுக்களின் ஆற்றல் ஆவியாகிய அணுக்களை விட 1-2 ஆர்டர் அளவு அதிகமாகும்.அடி மூலக்கூறில் டெபாசிட் செய்யப்பட்ட உயர்-ஆற்றல் தெளிக்கப்பட்ட அணுக்களின் ஆற்றல் மாற்றம் ஆவியாகிய அணுக்களை விட அதிகமாக உள்ளது, இது அதிக வெப்பத்தை உருவாக்குகிறது மற்றும் தூவப்பட்ட அணுக்கள் மற்றும் அடி மூலக்கூறுக்கு இடையில் ஒட்டுதலை மேம்படுத்துகிறது.கூடுதலாக, சில உயர் ஆற்றல் தெளிக்கப்பட்ட அணுக்கள் வெவ்வேறு அளவிலான ஊசிகளை உருவாக்குகின்றன, இது அடி மூலக்கூறில் ஒரு சூடோடிஃப்யூஷன் அடுக்கை உருவாக்குகிறது.கூடுதலாக, அடி மூலக்கூறு எப்போதும் பிளாஸ்மா பகுதியில் சுத்தப்படுத்தப்பட்டு செயல்படுத்தப்படுகிறது.எனவே, sputtered படம் அடி மூலக்கூறு வலுவான ஒட்டுதல் உள்ளது.
③ இலக்கிலிருந்து வேறுபட்ட புதிய மெட்டீரியல் படம் தயாரிக்கப்படலாம்
வினைத்திறன் வாயுவை இலக்குடன் வினைபுரியச் செய்யும் போது வினைத்திறன் வாயு அறிமுகப்படுத்தப்பட்டால், இலக்கிலிருந்து முற்றிலும் மாறுபட்ட ஒரு புதிய பொருள் படத்தைப் பெறலாம்.எடுத்துக்காட்டாக, சிலிக்கான் ஸ்பட்டரிங் இலக்காகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது, மேலும் ஆக்ஸிஜன் மற்றும் ஆர்கான் வெற்றிட அறைக்குள் ஒன்றாக வைக்கப்படுகின்றன.sputtering பிறகு, SiOz இன்சுலேடிங் படம் பெற முடியும்.டைட்டானியத்தை ஸ்பட்டரிங் இலக்காகப் பயன்படுத்தி, நைட்ரஜனும் ஆர்கானும் ஒன்றாக வெற்றிட அறைக்குள் வைக்கப்படுகின்றன, மேலும் ஸ்பட்டரிங் செய்த பிறகு கட்டம் TiN தங்கம் போன்ற படத்தைப் பெறலாம்.
④ உயர் தூய்மை மற்றும் திரைப்படத்தின் நல்ல தரம்
ஸ்பட்டரிங் ஃபிலிம் தயாரிப்பு சாதனத்தில் க்ரூசிபிள் கூறு இல்லாததால், க்ரூசிபிள் ஹீட்டர் பொருளின் கூறுகள் ஸ்பட்டரிங் ஃபிலிம் லேயரில் கலக்கப்படாது.ஸ்பட்டரிங் பூச்சுகளின் தீமைகள் என்னவென்றால், ஆவியாதல் பூச்சுகளை விட பட உருவாக்கும் வேகம் மெதுவாக உள்ளது, அடி மூலக்கூறு வெப்பநிலை அதிகமாக உள்ளது, இது தூய்மையற்ற வாயுவால் பாதிக்கப்படுவது எளிது, மேலும் சாதன அமைப்பு மிகவும் சிக்கலானது.
இந்தக் கட்டுரையின் உற்பத்தியாளரான குவாங்டாங் ஜென்ஹுவாவால் வெளியிடப்பட்டதுவெற்றிட பூச்சு உபகரணங்கள்
இடுகை நேரம்: மார்ச்-09-2023