நாம் அனைவரும் அறிந்தபடி, குறைக்கடத்தியின் வரையறை என்னவென்றால், உலர் கடத்திகள் மற்றும் மின்கடத்திகளுக்கு இடையே கடத்துத்திறன், உலோகம் மற்றும் இன்சுலேட்டருக்கு இடையிலான மின்தடை, இது பொதுவாக அறை வெப்பநிலையில் 1mΩ-cm ~ 1GΩ-cm வரம்பிற்குள் இருக்கும். சமீபத்திய ஆண்டுகளில், பெரிய குறைக்கடத்தி நிறுவனங்களில் வெற்றிட செமிகண்டக்டர் பூச்சு, குறிப்பாக சில பெரிய அளவிலான ஒருங்கிணைந்த கணினி சுற்று மேம்பாட்டு தொழில்நுட்ப ஆராய்ச்சி முறைகளில் காந்த மின்மாற்ற சாதனங்கள், ஒளி-உமிழும் சாதனங்கள் மற்றும் பிற மேம்பாட்டு வேலைகளில் அதன் நிலை அதிகமாக உள்ளது என்பது தெளிவாகிறது.வெற்றிட குறைக்கடத்தி பூச்சு ஒரு முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது.
குறைக்கடத்திகள் அவற்றின் உள்ளார்ந்த பண்புகள், வெப்பநிலை மற்றும் தூய்மையற்ற செறிவு ஆகியவற்றால் வகைப்படுத்தப்படுகின்றன.வெற்றிட செமிகண்டக்டர் பூச்சு பொருட்கள் முக்கியமாக அதன் கூறு கலவைகளால் ஒருவருக்கொருவர் வேறுபடுகின்றன.தோராயமாக அனைத்தும் போரான், கார்பன், சிலிக்கான், ஜெர்மானியம், ஆர்சனிக், ஆண்டிமனி, டெல்லூரியம், அயோடின், மற்றும் சில ஒப்பீட்டளவில் சில GaP, GaAs, lnSb போன்றவற்றை அடிப்படையாகக் கொண்டவை. FeO, Fe₂O₃ போன்ற சில ஆக்சைடு குறைக்கடத்திகளும் உள்ளன. MnO, Cr₂O₃, Cu₂O, போன்றவை.
வெற்றிட ஆவியாதல், ஸ்பட்டரிங் பூச்சு, அயன் பூச்சு மற்றும் பிற உபகரணங்கள் வெற்றிட குறைக்கடத்தி பூச்சு செய்ய முடியும்.இந்த பூச்சு கருவிகள் அனைத்தும் அவற்றின் செயல்பாட்டுக் கொள்கையில் வேறுபட்டவை, ஆனால் அவை அனைத்தும் அரைக்கடத்தி பொருள் பூச்சுப் பொருளை அடி மூலக்கூறில் டெபாசிட் செய்கின்றன, மேலும் அடி மூலக்கூறின் பொருளாக, எந்தத் தேவையும் இல்லை, அது குறைக்கடத்தியாக இருக்கலாம் அல்லது இல்லை.கூடுதலாக, வெவ்வேறு மின் மற்றும் ஒளியியல் பண்புகள் கொண்ட பூச்சுகள் தூய்மையற்ற பரவல் மற்றும் ஒரு வரம்பில் குறைக்கடத்தி அடி மூலக்கூறின் மேற்பரப்பில் அயனி பொருத்துதல் ஆகிய இரண்டிலும் தயாரிக்கப்படலாம்.இதன் விளைவாக மெல்லிய அடுக்கு பொதுவாக குறைக்கடத்தி பூச்சாகவும் செயலாக்கப்படலாம்.
வெற்றிட குறைக்கடத்தி பூச்சு என்பது எலக்ட்ரானிக்ஸ் செயலில் அல்லது செயலற்ற சாதனங்களுக்கு இன்றியமையாத இருப்பு ஆகும்.வெற்றிட குறைக்கடத்தி பூச்சு தொழில்நுட்பத்தின் தொடர்ச்சியான முன்னேற்றத்துடன், திரைப்பட செயல்திறனின் துல்லியமான கட்டுப்பாடு சாத்தியமாகியுள்ளது.
சமீபத்திய ஆண்டுகளில், உருவமற்ற பூச்சு மற்றும் பாலிகிரிஸ்டலின் பூச்சு ஆகியவை ஒளிக்கடத்தி சாதனங்கள், பூசப்பட்ட புல-விளைவு குழாய்கள் மற்றும் அதிக திறன் கொண்ட சூரிய மின்கலங்கள் தயாரிப்பில் விரைவான முன்னேற்றம் அடைந்துள்ளன.கூடுதலாக, வெற்றிட செமிகண்டக்டர் பூச்சு மற்றும் சென்சார்களின் மெல்லிய படலத்தின் வளர்ச்சியின் காரணமாக, இது பொருள் தேர்வின் சிரமத்தை கணிசமாகக் குறைக்கிறது மற்றும் உற்பத்தி செயல்முறையை படிப்படியாக எளிதாக்குகிறது.வெற்றிட குறைக்கடத்தி பூச்சு உபகரணங்கள் குறைக்கடத்தி பயன்பாடுகளுக்கு தேவையான இருப்பாக மாறியுள்ளது.கேமரா சாதனங்கள், சூரிய மின்கலங்கள், பூசப்பட்ட டிரான்சிஸ்டர்கள், புல உமிழ்வு, கேத்தோடு-ஒளி, எலக்ட்ரான் உமிழ்வு, மெல்லிய பட உணர்திறன் கூறுகள் போன்றவற்றின் குறைக்கடத்தி பூச்சுக்கு இந்த உபகரணங்கள் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.
Magnetron sputtering coating line ஆனது ஒரு முழுமையான தானியங்கி கட்டுப்பாட்டு அமைப்புடன் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, ஒரு வசதியான மற்றும் உள்ளுணர்வு தொடுதிரை மனித-இயந்திர இடைமுகம்.முழு உற்பத்தி வரி கூறுகள், செயல்முறை அளவுரு அமைப்பு, செயல்பாட்டு பாதுகாப்பு மற்றும் அலாரம் செயல்பாடுகளுக்கான செயல்பாட்டு நிலையை முழு கண்காணிப்பு அடைய முழுமையான செயல்பாட்டு மெனுவுடன் வரி வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது.முழு மின் கட்டுப்பாட்டு அமைப்பு பாதுகாப்பானது, நம்பகமானது மற்றும் நிலையானது.மேல் மற்றும் கீழ் இரட்டை பக்க மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங் இலக்கு அல்லது ஒற்றை பக்க பூச்சு அமைப்புடன் பொருத்தப்பட்டுள்ளது.
உபகரணங்கள் முக்கியமாக பீங்கான் சர்க்யூட் பலகைகள், சிப் உயர் மின்னழுத்த மின்தேக்கிகள் மற்றும் பிற அடி மூலக்கூறு பூச்சுகளுக்கு பயன்படுத்தப்படுகின்றன, முக்கிய பயன்பாட்டு பகுதிகள் மின்னணு சர்க்யூட் போர்டுகளாகும்.
இடுகை நேரம்: நவம்பர்-07-2022