1. வெப்ப CVD தொழில்நுட்பம்
கடின பூச்சுகள் பெரும்பாலும் உலோக பீங்கான் பூச்சுகள் (TiN, முதலியன), அவை பூச்சு மற்றும் எதிர்வினை வாயுவில் உலோகத்தின் எதிர்வினையால் உருவாகின்றன.முதலில், வெப்ப CVD தொழில்நுட்பம் 1000 ℃ உயர் வெப்பநிலையில் வெப்ப ஆற்றல் மூலம் கூட்டு எதிர்வினை செயல்படுத்தும் ஆற்றலை வழங்க பயன்படுத்தப்பட்டது.சிமென்ட் செய்யப்பட்ட கார்பைடு கருவிகளில் TiN மற்றும் பிற கடின பூச்சுகளை வைப்பதற்கு மட்டுமே இந்த வெப்பநிலை பொருத்தமானது.இதுவரை, சிமென்ட் செய்யப்பட்ட கார்பைடு டூல் ஹெட்களில் TiN-Al20 கலவை பூச்சுகளை வைப்பது இன்னும் முக்கியமான தொழில்நுட்பமாகும்.
2. வெற்று கேத்தோடு அயன் பூச்சு மற்றும் சூடான கம்பி ஆர்க் அயன் பூச்சு
1980 களில், வெற்று கேத்தோடு அயன் பூச்சு மற்றும் சூடான கம்பி ஆர்க் அயன் பூச்சு ஆகியவை பூசப்பட்ட வெட்டுக் கருவிகளை டெபாசிட் செய்ய பயன்படுத்தப்பட்டன.இந்த இரண்டு அயனி பூச்சு தொழில்நுட்பங்களும் ஆர்க் டிஸ்சார்ஜ் அயன் பூச்சு தொழில்நுட்பங்கள், உலோக அயனியாக்கம் விகிதம் 20%~40% வரை இருக்கும்.
3. கத்தோட் ஆர்க் அயன் பூச்சு
கத்தோடிக் ஆர்க் அயன் பூச்சு தோன்றியதால், அச்சுகளில் கடினமான பூச்சுகளை வைப்பதற்கான தொழில்நுட்பத்தின் வளர்ச்சிக்கு வழிவகுத்தது.கத்தோடிக் ஆர்க் அயனி பூச்சுகளின் அயனியாக்கம் விகிதம் 60%~90% ஆகும், இது அதிக எண்ணிக்கையிலான உலோக அயனிகள் மற்றும் எதிர்வினை வாயு அயனிகள் பணிப்பகுதியின் மேற்பரப்பை அடைய அனுமதிக்கிறது மற்றும் இன்னும் அதிக செயல்பாட்டை பராமரிக்கிறது, இதன் விளைவாக எதிர்வினை படிவு மற்றும் கடினமான பூச்சுகள் உருவாகின்றன. TiNதற்போது, கத்தோடிக் ஆர்க் அயன் பூச்சு தொழில்நுட்பம் முக்கியமாக அச்சுகளில் கடினமான பூச்சுகளை வைப்பதற்கு பயன்படுத்தப்படுகிறது.
கேத்தோடு ஆர்க் மூலமானது ஒரு நிலையான உருகிய குளம் இல்லாமல் ஒரு திட-நிலை ஆவியாதல் மூலமாகும், மேலும் ஆர்க் மூல நிலையை தன்னிச்சையாக வைக்கலாம், பூச்சு அறையின் விண்வெளி பயன்பாட்டு விகிதத்தை மேம்படுத்துகிறது மற்றும் உலை ஏற்றுதல் திறனை அதிகரிக்கிறது.கேத்தோடு ஆர்க் மூலங்களின் வடிவங்களில் சிறிய வட்ட வடிவ கேத்தோடு ஆர்க் மூலங்கள், நெடுவரிசை வில் மூலங்கள் மற்றும் செவ்வக தட்டையான பெரிய ஆர்க் மூலங்கள் ஆகியவை அடங்கும்.பல அடுக்கு படங்கள் மற்றும் நானோ மல்டிலேயர் ஃபிலிம்களை டெபாசிட் செய்ய சிறிய வில் மூலங்கள், நெடுவரிசை வில் மூலங்கள் மற்றும் பெரிய ஆர்க் மூலங்களின் வெவ்வேறு கூறுகளை தனித்தனியாக ஏற்பாடு செய்யலாம்.இதற்கிடையில், கத்தோடிக் ஆர்க் அயனி பூச்சு அதிக உலோக அயனியாக்கம் விகிதம் காரணமாக, உலோக அயனிகள் அதிக எதிர்வினை வாயுக்களை உறிஞ்சி, ஒரு பரந்த செயல்முறை வரம்பு மற்றும் சிறந்த கடினமான பூச்சுகள் பெற எளிய செயல்பாடு விளைவாக.இருப்பினும், கத்தோடிக் ஆர்க் அயன் பூச்சு மூலம் பெறப்பட்ட பூச்சு அடுக்கின் நுண் கட்டமைப்பில் கரடுமுரடான நீர்த்துளிகள் உள்ளன.சமீபத்திய ஆண்டுகளில், ஃபிலிம் லேயரின் கட்டமைப்பைச் செம்மைப்படுத்த பல புதிய தொழில்நுட்பங்கள் தோன்றியுள்ளன, இது ஆர்க் அயன் பூச்சு படத்தின் தரத்தை மேம்படுத்தியுள்ளது.
——இந்தக் கட்டுரை குவாங்டாங் ஜென்ஹுவா தொழில்நுட்பத்தால் வெளியிடப்பட்டது, ஏஆப்டிகல் பூச்சு இயந்திரங்களின் உற்பத்தியாளர்.
பின் நேரம்: ஏப்-28-2023